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[实用新型]研磨头清洗装置-CN201822081238.8有效
发明人： 黄汇丰;蒋德念;赵振伟 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-12-12 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种研磨头清洗装置，包括支架、清洗刷、喷水杆、伸缩驱动装置和旋转驱动装置，所述喷水杆与清洗刷安装在支架上，所述支架在伸缩驱动装置的带动下沿水平方向运动，所述喷水杆上设有朝向研磨头顶面和侧面的外周侧喷嘴，所述旋转驱动装置带动研磨头旋转或者带动支架旋转。本实用新型的清洗装置对研磨头进行清洗时，研磨头进行旋转或者清洗刷和喷水杆进行旋转，清洗刷和喷水杆在伸缩驱动装置的控制下移动至研磨头的外周侧，喷水杆上的外周侧喷嘴向研磨头上方及侧面喷洒去离子水，同时清洗刷对研磨头的上方及侧面进行全方位洗刷，从而将研磨头上方及侧面的研磨液及研磨残留物清除。
研磨头喷水杆清洗刷支架伸缩驱动装置清洗装置研磨外周侧面旋转驱动装置本实用新型侧喷嘴水平方向运动研磨残留物去离子水头顶面研磨液洗刷下沿喷洒清洗移动

[实用新型]用于化学机械研磨设备上的保护结构-CN201721685924.5有效
发明人： 黄汇丰;张弢;蒋德念 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于化学机械研磨设备上的保护结构，所述化学机械研磨设备中的升降装置外套有橡胶波纹管，所述保护结构为安装在橡胶波纹管外的一保护罩，所述保护罩为一体结构或分体结构。本实用新型的保护罩可以防止酸性研磨液与橡胶波纹管直接接触，从而提高了橡胶波纹管的使用寿命，还可以防止橡胶波纹管破裂后化学机械研磨工艺中的液体泄漏导致电气部件损坏。
橡胶波纹管化学机械研磨设备保护结构保护罩本实用新型化学机械研磨工艺电气部件分体结构升降装置使用寿命液体泄漏一体结构研磨液破裂

[发明专利]用于CMP设备上的研磨垫安装夹具装置及使用方法-CN201610370175.0有效
发明人： 黄汇丰;张弢;蒋德念 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-05-30 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： B24B37/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于CMP设备上的研磨垫安装夹具装置及使用方法，当安装研磨垫时，先使用本发明的夹具装置夹住研磨垫边缘，然后把夹具贴住研磨台边缘，即可实现研磨垫对准研磨台中心。通过本发明，安装研磨垫时能使研磨垫准确、方便地与研磨台对准，使每次安装研磨垫都能安装在中心位置。
研磨垫研磨台安装夹具对准夹具夹具装置夹住

[发明专利]一种研磨垫清扫装置-CN201410117786.5有效
发明人：邢杰;黄汇丰 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种研磨垫清扫装置，包括研磨垫、修整盘、研磨臂、动力源、毛刷装置；所述研磨垫的上方设有可移动的研磨臂，所述研磨臂的一端连接为所述研磨臂的移动提供动力的动力源，所述研磨臂的另一端连接沿预定路径进行旋转的修整盘，所述研磨臂上还设有至少一个用于清扫研磨垫上颗粒物的毛刷装置，所述毛刷装置上设有升降装置使毛刷装置做上下运动。本发明通过在研磨臂上设有的可升降的毛刷装置，及时清扫研磨垫上颗粒物，避免了下一片硅片的刮伤或报废，提高了影响了硅片的质量。
一种研磨清扫装置

[发明专利]一种化学机械研磨设备-CN201510213427.4在审
发明人： 黄汇丰 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2015-04-29 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学机械研磨设备，用于对晶圆待研磨表面进行研磨，包括研磨液供给手臂、底座、驱动装置以及位置锁定装置，其中，研磨液供给手臂至少为一节，用于向晶圆表面提供研磨液，研磨液供给手臂一端设有喷射研磨液的喷嘴，另一端所述底座铰接；底座用于支撑研磨液供给手臂，以带动喷嘴在晶片边缘与晶片中心之间做往复运动；驱动装置安装于所述底座下方，用于驱动研磨液供给手臂在晶圆上方做水平往复运动。本发明通过设置驱动装置以带动研磨液供给手臂运动至预设位置，在运动过程中，保证研磨液均匀、匀速的喷射至晶圆表面，到达预设位置后，也可通过位置锁定装置固定研磨液供给手臂的位置和角度，满足实际工艺的需要。
一种化学机械研磨设备

[实用新型]一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置-CN201420129400.8有效
发明人： 黄汇丰;张弢;蒋德念 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-03-20 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： E06B3/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置，所述门锁改良装置由门，腔室，联锁传感器，磁铁和挂钩组成，其中，所述门的顶部与所述腔室的顶部通过铰链连接，所述联锁传感器设置于所述腔室的两边，所述磁铁设置于所述腔室的两边，所述挂钩设置于所述腔室的底部，所述门的底部设有与所述挂钩匹配的销子；通过本实用新型的使用，由于改变了门的设计使原来的阻力变成了助力，挂钩钩住门，不会发生门被弹开的问题；门不再弹开，有效的减少了制品量测过程中的缺陷及粒子的产生，同时也降低了设备运行过程中由于门被弹开而造成的辐射的问题。
一种应用铜膜厚量测设备门锁改良装置

[发明专利]一种超声波清洗槽的过滤器排液装置及排液方法-CN201410118196.4有效
发明人： 黄汇丰;张弢;蒋德念 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种超声波清洗槽的过滤器排液装置及排液方法，包括依次连接的过滤器、排液管路、超声波清洗槽，所述排液管路相对于水平面倾斜设置，所述排液管路的低处端设有三通接头，所述三通接头包括第一接头、第二接头、第三接头，所述第一接头、第二接头连通所述排液管路，所述第三接头用于排出所述排液管路中的液体，且所述第三接头上设有手阀用于控制所述第三接头打开或关闭。本发明在排液管路上设有将液体排出的三通接头，且三通接头上设有手阀，可方便快速地排净排液管路中的液体，避免在更换过滤器时所述排液管道出现残留液体溢出或回流现象，且节约排液时间。
一种超声波清洗过滤器装置方法

[实用新型]车载广告装置-CN200920222796.X无效
发明人：孙克;黄汇丰 -专利权人：孙克
申请日： 2009-09-24 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： G09F13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种车载广告装置，包括：壳体，安装有吸盘，用于将车载广告装置固定至车窗上；控制单元，用于定时或接受遥控向驱动单元发送驱动信号，并记录LED灯点亮时间、电机启动时间；驱动单元，用于响应驱动信号来驱动广告页面运动，以实现不同广告页面的更换；至少一个展示窗，用于展示广告页面。本车载广告装置的广告页面可自动更换或遥控更换，同时，本车载广告装置使用彩色LED灯为广告页面提供照明，增强广告效果。本车载广告装置可以方便地安装在轿车、公共汽车等交通工具车窗上，也可以方便地安装在家庭、办公场所的玻璃窗上。
车载广告装置

[实用新型]购物篮清洗设备-CN200920222693.3无效
发明人：孙克;黄汇丰 -专利权人：孙克
申请日： 2009-09-17 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： B08B9/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种购物篮清洗设备，包括：传送带，用于将购物篮传送至超声波清洗装置；至少一个超声波清洗装置，用于清洗购物篮。本实用新型可以高效、彻底地清洗购物篮，并可节省水资源、人力和清洗时间。
购物清洗设备

[实用新型]带状物清洁设备-CN200920222553.6无效
发明人：孙克;黄汇丰 -专利权人：孙克
申请日： 2009-09-24 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：一种带状物清洁设备，包括手持部和供液供气部。所述手持部包括：第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部与所述第二夹持部扣合后，在所述第一夹持部与所述第二夹持部之间形成空隙，以容纳所述带状物；供液装置，用于向所述带状物供给清洗液；刷洗装置，用于利用所述清洗液刷洗所述带状物；冲洗装置，用于利用冲洗液冲洗由所述刷洗装置刷洗过的所述带状物；干燥装置，用于利用热的空气干燥经过所述冲洗装置冲洗过的所述带状物。所述供液供气部用于向所述手持部供应清洗液、冲洗液和热空气。利用本实用新型可在不拆卸、不破坏带状物的情况下，方便地实现对带状物的彻底清洁，且清洗液和冲洗液可以循环使用。
带状清洁设备

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