[实用新型]一种动态调整温场中温度梯度的装置有效

专利信息
申请号: 201822068289.7 申请日: 2018-12-11
公开(公告)号: CN209276673U 公开(公告)日: 2019-08-20
发明(设计)人: 丁言国;徐悟生;叶崇志;丁祖兵;陈凯 申请(专利权)人: 上海新漫晶体材料科技有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201821 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种动态调整温场中温度梯度的装置,其包括炉膛壁、籽晶连接杆、温场、温场上盖;所述的温场设置在炉膛壁的中间位置;在所述的温场的上方设置所述的温场上盖;在所述的温场上盖的上方设置第一盖板驱动装置和第二盖板驱动装置;所述的第一盖板驱动装置和第二盖板驱动装置设置在籽晶连接杆的两侧;本实用新型在晶体生长降温过程中通过移动第一盖板和第二盖板,使第一盖板、第二盖板形成闭合的圆环,能够动态调整晶体生长温场中温度梯度,有效解决晶体生长温场中温度梯度固定不变的问题,从而减小温场中的温度梯度,提高晶体的完整率,降低晶体生产成本。
搜索关键词: 温场 温度梯度 盖板驱动装置 盖板 动态调整 晶体生长 本实用新型 连接杆 炉膛壁 籽晶 降温过程 晶体生产 有效解决 闭合 晶体的 减小 圆环 移动
【主权项】:
1.一种动态调整温场中温度梯度的装置,其特征在于,包括炉膛壁、籽晶连接杆、温场、温场上盖;所述的温场设置在炉膛壁的中间位置;在所述的温场的上方设置所述的温场上盖;在所述的温场上盖的上方设置第一盖板驱动装置和第二盖板驱动装置;所述的第一盖板驱动装置和第二盖板驱动装置设置在籽晶连接杆的两侧。
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