[实用新型]一种并行波导结构有效
| 申请号： | 201822045668.4 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209167574U | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 成都北英电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 马小辉 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种并行波导结构，包括高折射率上层、金属微纳结构层、低折射率介质、高折射率下层、衬底。金属微纳结构层中的金属微纳结构间隔地与高折射率上层或高折射率下层相连，与高折射率下层或高折射率上层断开，用以形成波导。本实用新型提升了相邻波导之间的隔离效果，从而减小了波导尺寸，有利于更好地集成。 | ||
| 搜索关键词： | 高折射率 微纳结构 下层 本实用新型 波导结构 上层 金属 波导 并行 低折射率介质 隔离效果 相邻波导 衬底 减小 断开 | ||
【主权项】：
1.一种并行波导结构，其特征在于：包括高折射率上层（1）、金属微纳结构层（2）、高折射率下层（3）、低折射率介质（4）、衬底（5），所述高折射率下层（3）置于衬底（5）上，金属微纳结构层（2）和低折射率介质（4）夹在高折射率上层（1）与高折射率下层（3）之间，金属微纳结构层包括若干金属微纳结构，金属微纳结构的一端间隔地与高折射率上层（1）或高折射率下层（3）相连，另一端与高折射率下层（3）或高折射率上层（1）断开。
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