[实用新型]一种阳极支座装置有效
| 申请号： | 201822033741.6 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209323000U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌;刘俊红;刘伟;胡晓忠 | 申请（专利权）人： | 苏州艾钛科纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 薛峰;康正德 |
| 地址： | 215010 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种阳极支座装置，涉及电弧离子镀技术领域。其包括：阳极筒和盘管式水冷件，所述阳极筒为空心筒状结构，所述阳极筒具有第一端部和第二端部，所述第一端部设有外延的第一法兰，所述第一法兰用于将所述阳极筒密封安装至电弧离子镀设备的外壁；所述阳极筒的内壁设有第二法兰，所述第二法兰用于于安装阴极弧光放电屏蔽装置及阴极体；所述阳极筒采用铝制成，并对其进行绝缘表面处理，所述盘管式水冷件为贴附所述阳极筒内表面的散热管道。本实用新型提供了提供一种阳极支座装置，可以提升其导电性能和散热性能，并降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极筒 阳极支座 本实用新型 第二法兰 第一端部 第一法兰 盘管式 水冷件 电弧离子镀技术 电弧离子镀设备 空心筒状结构 阴极 导电性能 第二端部 弧光放电 绝缘表面 密封安装 屏蔽装置 散热管道 散热性能 内表面 阴极体 内壁 贴附 外壁 | ||
【主权项】：
1.一种阳极支座装置，其特征在于，包括：阳极筒和盘管式水冷件，所述阳极筒为空心筒状结构，所述阳极筒具有第一端部和第二端部，所述第一端部设有外延的第一法兰，所述第一法兰用于将所述阳极筒密封安装至电弧离子镀设备的外壁；所述阳极筒的内壁设有第二法兰，所述第二法兰用于于安装阴极弧光放电屏蔽装置及阴极体；所述阳极筒采用铝制成，所述盘管式水冷件为贴附所述阳极筒内表面的散热管道。
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