[实用新型]一种阳极支座装置

权利要求书

1.一种阳极支座装置，其特征在于，包括：阳极筒和盘管式水冷件，所述阳极筒为空心筒状结构，所述阳极筒具有第一端部和第二端部，所述第一端部设有外延的第一法兰，所述第一法兰用于将所述阳极筒密封安装至电弧离子镀设备的外壁；所述阳极筒的内壁设有第二法兰，所述第二法兰用于于安装阴极弧光放电屏蔽装置及阴极体；所述阳极筒采用铝制成，所述盘管式水冷件为贴附所述阳极筒内表面的散热管道。

2.根据权利要求1所述的阳极支座装置，其特征在于，所述阳极筒为空心圆柱筒状。

3.根据权利要求1所述的阳极支座装置，其特征在于，所述第二端部设有安装孔，所述第二端部用于安装可拆卸式阳极装置。

4.根据权利要求1所述的阳极支座装置，其特征在于，所述第一法兰和所述第二法兰均设有若干个安装孔。

5.根据权利要求1所述的阳极支座装置，其特征在于，所述第一法兰和所述第二法兰上设有用于放置所述盘管式水冷件的凹槽。

6.根据权利要求1所述的阳极支座装置，其特征在于，所述盘管式水冷件为铜管、铝管中的一种。

7.根据权利要求1所述的阳极支座装置，其特征在于，所述阳极筒采用铝材一体化制成。

8.根据权利要求1所述的阳极支座装置，其特征在于，所述阳极筒的表面制备有绝缘层。

9.根据权利要求8所述的阳极支座装置，其特征在于，所述阳极筒的表面经过阳极氧化、微弧氧化工艺以制备出氧化铝的绝缘层；所述第二端部的端面经过磨砂工艺，以去除所述第二端部的端面的绝缘层。

10.根据权利要求1所述的阳极支座装置，其特征在于，所述阳极筒内部设有用于与可拆卸式阳极装置连通的水冷管。