[实用新型]一种真空镀膜用氢气提纯装置有效
| 申请号： | 201822004513.6 | 申请日： | 2018-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN209227044U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 王德智;谢雄星;戴秀海 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C25B1/04;C25B15/00 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及氢气提纯技术领域，尤其是一种真空镀膜用氢气提纯装置，其特征在于：在所述镀膜腔室上还开设有水汽入口，所述除水干燥装置内具有加热器，所述除水干燥装置与所述氢气入口以及所述水汽入口之间分别通过独立的管路连通；所述除水干燥装置与所述氢气入口之间的管路以及其与所述水汽入口之间的管路上分别设有用于控制管路连通状态的控制阀门。本实用新型的优点是：操作简单，自动化程度高；产得的氢气纯度高；除水干燥装置的再生成本低，再生效果好；密封性强。 | ||
| 搜索关键词： | 除水干燥装置 水汽入口 氢气提纯装置 本实用新型 氢气入口 真空镀膜 加热器 镀膜腔室 管路连通 控制阀门 控制管路 连通状态 氢气纯度 氢气提纯 再生成本 再生效果 密封性 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜用氢气提纯装置，用于向镀膜腔室通入所述氢气，所述镀膜腔室上开设有氢气入口，所述氢气入口与一氢气发生装置相连，所述氢气发生装置至少包括氢气供应单元和除水干燥装置，其特征在于：在所述镀膜腔室上还开设有水汽入口，所述除水干燥装置内具有加热器，所述除水干燥装置与所述氢气入口以及所述水汽入口之间分别通过独立的管路连通；所述除水干燥装置与所述氢气入口之间的管路以及其与所述水汽入口之间的管路上分别设有用于控制管路连通状态的控制阀门。
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