[实用新型]一种真空镀膜用氢气提纯装置

说明书

本实用新型涉及氢气提纯技术领域，尤其是一种真空镀膜用氢气提纯装置，其特征在于：在所述镀膜腔室上还开设有水汽入口，所述除水干燥装置内具有加热器，所述除水干燥装置与所述氢气入口以及所述水汽入口之间分别通过独立的管路连通；所述除水干燥装置与所述氢气入口之间的管路以及其与所述水汽入口之间的管路上分别设有用于控制管路连通状态的控制阀门。本实用新型的优点是：操作简单，自动化程度高；产得的氢气纯度高；除水干燥装置的再生成本低，再生效果好；密封性强。

技术领域

本实用新型涉及氢气提纯技术领域，尤其是一种真空镀膜用氢气提纯装置。

背景技术

为实现精密薄膜的物理沉积工艺采用氢气作为反应气体，工艺对气体纯度要求极高，使用水电解制氢即产即用、安全环保、可循环使用等优点，但水电解制氢输出杂质主要为水气。

目前去除水气常用的技术手段有：手动操作和自动操作。

手动操作，该方法使用相关吸附物质进行水气吸附，当吸附物质饱和时需要更换吸附物质，从而保证输出的氢气纯度。但手动操作存在如下缺点：1、需要定期目视巡检硅胶颜色，确认吸附物质是否吸附饱和，自动化程度低；2、在设备保养或待机时，管道中的氢气纯度会下降，会影响接下来的产品工艺。

自动操作，该方法通过PSA变压吸附方式实现二组净化器的自动切换：1、该方法需要安装二组净化器进行切换，1路净化器进行工作，1路净化器进行再生，系统较为复杂。2、需要安装切换净化器的多组阀门与切换电路，易产生密封泄漏问题，且系统成本高；3、需要考虑吹扫气体的的种类与排空设计问题。

发明内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种真空镀膜用氢气提纯装置，通过除水干燥装置的自动再生，保证通入镀膜腔室内的氢气纯净度。

本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

一种真空镀膜用氢气提纯装置，用于向镀膜腔室通入所述氢气，所述镀膜腔室上开设有氢气入口，所述氢气入口与一氢气发生装置相连，所述氢气发生装置至少包括氢气供应单元和除水干燥装置，其特征在于：在所述镀膜腔室上还开设有水汽入口，所述除水干燥装置内具有加热器，所述除水干燥装置与所述氢气入口以及所述水汽入口之间分别通过独立的管路连通；所述除水干燥装置与所述氢气入口之间的管路以及其与所述水汽入口之间的管路上分别设有用于控制管路连通状态的控制阀门。

所述氢气供应单元为电解发生单元；所述氢气发生装置还包括气水分离器和除氧装置；其中所述电解发生单元外接水且其出口与所述气水分离器通过管路连通，所述气水分离器的出口与所述除氧装置通过管路连通，所述除氧装置的出口与所述除水干燥装置通过管路连通。

所述电解发生单元还包括补水泵、水箱、液位计、压力控制器，其中所述补水泵接入所述水箱内，所述水箱与所述电解发生单元通过管路连通，所述气水分离器底部开始有一出水口，所述出水口与所述水箱相连通，所述液位计用于监测所述水箱内的液位，所述压力控制器用于控制所述气水分离器的压力。

所述除水干燥装置与所述氢气入口之间的管路上还设置有质量流量计。

所述镀膜腔室指的是连接有分子泵的镀膜腔室。

本实用新型的优点是：操作简单，自动化程度高；产得的氢气纯度高；除水干燥装置的再生成本低，再生效果好。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：