[实用新型]光源装置、调焦调平系统及光刻设备有效
| 申请号： | 201822001948.5 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209028412U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 毛静超;周媛红;庄亚政;孙建超 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种光源装置、调焦调平系统及光刻设备，光源装置包括照明模块、光功率检测模块、驱动模块及控制模块，照明模块包括多个灯泡，光功率检测模块实时检测照明模块中处于照明工位的灯泡发出的光功率，驱动模块与照明模块连接，当光功率检测模块检测到的光功率小于一设定阈值时，控制模块控制驱动模块改变照明模块中的灯泡的位置以切换照明工位上的灯泡。本装置可自动更换寿命耗尽的灯泡，精确控制切换位置，减少维护时间，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 照明模块 灯泡 光功率检测模块 光源装置 调焦调平系统 光刻设备 控制模块 驱动模块 光功率 工位 控制切换位置 控制驱动模块 本实用新型 工作效率 实时检测 自动更换 阈值时 耗尽 检测 维护 | ||
【主权项】：
1.一种光源装置，其特征在于，包括照明模块、光功率检测模块、驱动模块及控制模块，所述照明模块包括多个灯泡，所述光功率检测模块实时检测所述照明模块中处于照明工位的灯泡发出的光功率，所述驱动模块与所述照明模块连接，当所述光功率检测模块检测到的光功率小于一设定阈值时，所述控制模块控制所述驱动模块改变所述照明模块中的灯泡的位置以切换照明工位上的灯泡。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822001948.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光刻机工件台移动调整装置
- 下一篇：一种能够减少菲林版损伤的晒版机
