[实用新型]砷化镓晶片片盒清洗装置有效
申请号: | 201821981568.6 | 申请日: | 2018-11-29 |
公开(公告)号: | CN209205897U | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | 于会永;冯佳峰;王文昌;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军 | 申请(专利权)人: | 大庆溢泰半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 163000 黑龙江省大庆市高新区火*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种清洗装置,尤其为砷化镓晶片片盒清洗装置,包括清洗机、砷化镓晶片盒、清洗喷头和铝合金软管,所述清洗机基面固定安装有箱门,所述箱门上镶嵌设置有控制开关,所述清洗机顶部开设有清洗槽,所述清洗槽底部开设有若干组气孔,所述清洗槽的内部放置有砷化镓晶片盒,所述砷化镓晶片盒包括盒盖和盒体,所述盒体的内部镶嵌设置有放置槽,所述清洗机顶部固定安装有固定座,所述固定座上开设有通孔,所述清洗机的顶部设置有清洗喷头,所述清洗喷头和通孔通过铝合金软管贯通连接,所述清洗喷头一侧镶嵌设置有清洗开关,所述清洗喷头远离清洗开关一侧开设有弧形凹槽,本实用新型整体装置结构简单,便于二次利用,具有一定的推广作用。 | ||
搜索关键词: | 清洗喷头 清洗机 砷化镓晶片 清洗装置 镶嵌设置 清洗槽 本实用新型 清洗开关 软管 固定座 砷化镓 铝合金 盒体 通孔 整体装置结构 顶部设置 二次利用 贯通连接 弧形凹槽 放置槽 盒盖 基面 箱门 | ||
【主权项】:
1.砷化镓晶片片盒清洗装置,包括清洗机(1)、砷化镓晶片盒(2)、清洗喷头(3)和铝合金软管(4),其特征在于:所述清洗机(1)基面固定安装有箱门(9),所述箱门(9)上镶嵌设置有控制开关(10),所述清洗机(1)顶部开设有清洗槽(8),所述清洗槽(8)底部开设有若干组气孔(11),所述清洗槽(8)的内部放置有砷化镓晶片盒(2),所述砷化镓晶片盒(2)包括盒盖(13)和盒体(14),所述盒体(14)的内部镶嵌设置有放置槽(15),所述清洗机(1)顶部固定安装有固定座(7),所述固定座(7)上开设有通孔(12),所述清洗机(1)的顶部设置有清洗喷头(3),所述清洗喷头(3)和通孔(12)通过铝合金软管(4)贯通连接,所述清洗喷头(3)一侧镶嵌设置有清洗开关(5),所述清洗喷头(3)远离清洗开关(5)一侧开设有弧形凹槽(6)。
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