[实用新型]一种高耐蚀性硅烷精制设备

摘要

本实用新型公开了一种高耐蚀性硅烷精制设备，包括反应罐，反应罐的顶部一端设置有进料口，进料口上设置有进料电磁阀，反应罐的顶部中央安装有电机，电机的底部安装有搅拌轴，且搅拌轴贯穿反应罐，延伸至反应罐的内部。本实用新型是一种高耐蚀性硅烷精制设备，该设备通过设置的搅拌叶表面的通孔使材料便于混合，加快反应速度，并反应均匀，通过设置的加热管加热生成含中间产物的硅烷气体，通过设置的热交换装置防止生成的高纯硅烷液化，通过设置的冷凝器冷凝温度进一步分离出重杂质气体，提纯硅烷，通过设置的加压装置增加硅烷输送压力，避免停留时间过久而造成的液化现象，该设备结构简单，提取的硅烷纯度高。

主权项

1.一种高耐蚀性硅烷精制设备，包括反应罐(1)，其特征在于，所述反应罐(1)的顶部一端设置有进料口(7)，所述进料口(7)上设置有进料电磁阀(8)，所述反应罐(1)的顶部中央安装有电机(2)，所述电机(2)的底部安装有搅拌轴(3)，且搅拌轴(3)贯穿反应罐(1)延伸至反应罐(1)的内部，所述搅拌轴(3)的外表面套接有搅拌叶(4)，所述反应罐(1)的底部一端连接有出料管(9)，所述出料管(9)上安装有出料电磁阀(10)，所述出料电磁阀(10)的一侧安装有输送泵(11)，所述出料管(9)的一端安装有精制塔(6)，所述精制塔(6)的内部底端安装有加热管(13)，所述加热管(13)的顶部设置有蒸馏舱(14)，所述蒸馏舱(14)的顶部设置有催化层(15)，所述催化层(15)的顶部设置有精制层(17)，所述精制层(17)的两端均安装有防腐层(16)，且防腐层(16)紧贴于精制塔(6)的内壁，所述精制层(17)的顶部设置有气液分离层(20)，所述精制塔(6)的顶部安装有排气管(21)，所述排气管(21)上设置有热交换装置(22)，所述排气管(21)的一端安装有收集箱(23)，所述收集箱(23)的顶部设置有废气出口(24)，所述收集箱(23)的底部连接有回收管(12)。