[实用新型]一种石英管加热闭管装置有效
| 申请号： | 201821924657.7 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN209259927U | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 顾标琴;高占成;徐爱民 | 申请（专利权）人： | 江苏润奥电子制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B23/045 | 分类号： | C03B23/045 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 潘云峰 |
| 地址： | 225000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种石英管加热闭管装置，包括底座、两块调节板、固定架和加热筒，调节板间隔安装在底座上，且调节板上安装有固定架，固定架上安装有加热筒，本实用新型解决了现有技术中硅片在真空铝扩散前进行抽真空时，硅片表面和石英管的内壁存在一定水汽的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 调节板 固定架 石英管 本实用新型 管装置 加热筒 底座 加热 硅片表面 间隔安装 水汽 抽真空 真空铝 硅片 内壁 扩散 | ||
【主权项】：
1.一种石英管加热闭管装置，其特征在于，包括底座、两块调节板、固定架和加热筒，所述调节板间隔安装在底座上，且调节板上安装有固定架，所述固定架上安装有加热筒。
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