[实用新型]一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括由基板和壳体围成的外部封装；位于容腔内的补强板；以及MEMS芯片；基板上包括有声孔；声孔包括声音通道，第一开孔以及第二开孔；补强板覆盖第一开孔；麦克风还包括有防水膜，防水膜位于第一开孔处，且覆盖第一开孔；补强板的与第一开孔对应部分的底面与防水膜的阻水透气部之间留有间隔距离，该间隔距离为0.02mm‑0.08mm。本实用新型通过对MEMS麦克风结构的改进，使得外界灰尘不易进入麦克风内部，且进入麦克风的声音气流可以得到缓冲，并调节了MEMS麦克风的频响曲线，优化了产品的声学性能。

主权项

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述麦克风包括：由基板和壳体围成的包括有容腔的外部封装；位于容腔内且固定结合在所述基板顶面上的补强板；以及结合固定在所述补强板的背离所述基板一侧表面上的MEMS芯片；所述基板上包括有将所述MEMS芯片背腔与外界连通的声孔；所述声孔包括：形成于所述基板内部的声音通道；位于所述声音通道一端的，且与所述MEMS芯片背腔对应连通的第一开孔；以及位于所述声音通道另一端的，贯穿所述基板底面的第二开孔；所述补强板覆盖所述第一开孔；所述补强板上包括有将MEMS芯片背腔与所述声孔连通的过声孔；所述麦克风还包括有与所述基板结合固定的防水膜，所述防水膜位于所述第一开孔处，且覆盖第一开孔；所述防水膜包括与所述基板结合固定的固定部，以及与所述第一开孔对应的阻水透气部；所述补强板的与第一开孔对应部分的底面与所述防水膜的阻水透气部之间留有间隔距离，该间隔距离为0.02mm‑0.08mm。