[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201821898840.4 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN208971809U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 安春璐;李忠凯 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王喆 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 第一开孔 麦克风 补强板 防水膜 本实用新型 间隔距离 基板 第二开孔 频响曲线 声学性能 声音通道 外界灰尘 壳体围 透气部 底面 覆盖 缓冲 容腔 声孔 阻水 封装 外部 优化 改进 | ||
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述麦克风包括：
由基板和壳体围成的包括有容腔的外部封装；
位于容腔内且固定结合在所述基板顶面上的补强板；以及
结合固定在所述补强板的背离所述基板一侧表面上的MEMS芯片；
所述基板上包括有将所述MEMS芯片背腔与外界连通的声孔；
所述声孔包括：
形成于所述基板内部的声音通道；
位于所述声音通道一端的，且与所述MEMS芯片背腔对应连通的第一开孔；以及
位于所述声音通道另一端的，贯穿所述基板底面的第二开孔；
所述补强板覆盖所述第一开孔；所述补强板上包括有将MEMS芯片背腔与所述声孔连通的过声孔；
所述麦克风还包括有与所述基板结合固定的防水膜，所述防水膜位于所述第一开孔处，且覆盖第一开孔；
所述防水膜包括与所述基板结合固定的固定部，以及与所述第一开孔对应的阻水透气部；所述补强板的与第一开孔对应部分的底面与所述防水膜的阻水透气部之间留有间隔距离，该间隔距离为0.02mm-0.08mm。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述第一开孔的竖向投影与所述第二开孔的竖向投影不重叠。
3.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述过声孔由若干形成于所述补强板上的微孔构成。
4.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水膜通过注塑的方式与所述基板一体成型。
5.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，
所述补强板包括有通过弯折形成的弯折部，该弯折部与所述第一开孔对应且伸入所述第一开孔内，所述弯折部包括底壁，所述过声孔形成于所述底壁上；
所述底壁的底面与所述防水膜的阻水透气部之间形成所述间隔距离。
6.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述麦克风还包括位于所述容腔内的ASIC芯片；
所述ASIC芯片通过胶体结合固定于所述基板顶面上，或者所述ASIC芯片结合固定在所述补强板的背离所述基板一侧表面上。
7.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述补强板的材质为金属。
8.根据权利要求5所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述弯折部包括有侧壁，所述侧壁的外表面与所述第一开孔的内壁贴合。
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