[实用新型]一种衬底的温度测量装置有效
| 申请号： | 201821896258.4 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN209820647U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 夏国强;李浩文 | 申请（专利权）人： | 深圳网联光仪科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/12 | 分类号： | G01K11/12 |
| 代理公司： | 44356 深圳市壹品专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 周婷;江文鑫 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山区坪*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及温度测量装置的技术领域，公开了一种衬底的温度测量装置，其特征在于，包括涂覆在衬底表面的荧光薄膜、激光发射器、光电探测器、信号处理器以及温度转换器；激光发射器，用于向所述荧光薄膜发射激光，使所述荧光薄膜激发出荧光；光电探测器，用于接收所述荧光，并将荧光发出的荧光信号转变为电信号；信号处理器，用于将电信号计算得到荧光的寿命；温度转换器，用于将测得的荧光的寿命转换为对应的温度；通过光电探测器、信号处理器的处理以及计算，得出激光照射位置的荧光薄膜所激发的荧光寿命，进而可以得到对应的衬底位置的温度，从而实现对衬底温度的精确测量，以便于对温度的精准控制。 | ||
| 搜索关键词： | 荧光 荧光薄膜 光电探测器 信号处理器 温度测量装置 激光发射器 温度转换器 衬底 激光照射位置 本实用新型 电信号计算 衬底表面 衬底位置 精准控制 荧光寿命 荧光信号 激发 涂覆 激光 测量 发射 转换 | ||
【主权项】：
1.一种衬底的温度测量装置，其特征在于，包括涂覆在衬底表面的荧光薄膜、激光发射器、光电探测器、信号处理器以及温度转换器；/n激光发射器，用于向所述荧光薄膜发射激光，使所述荧光薄膜激发出荧光；/n光电探测器，用于接收所述荧光，并将荧光发出的荧光信号转变为电信号；/n信号处理器，用于将电信号计算得到荧光的寿命；/n温度转换器，用于将测得的荧光的寿命转换为对应的温度。/n
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