[实用新型]一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统有效
| 申请号： | 201821883895.8 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN209102331U | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 张海洋;刘伟;吕文波 | 申请（专利权）人： | 苏州伊欧陆系统集成有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G05D23/32 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统，包括芯片夹具、由上至下依次设置在芯片夹具下端的温控板、均温板、半导体制冷片及散热装置；所述均温板内设置有温度传感器；所述芯片夹具包括安装片、与安装片连接的真空泵及设置在安装片端部的一对挡板；所述安装片内部具有一与真空泵连接的导气管、与导气管相连通并延伸至安装片侧面的若干抽气孔；所述安装片偏向抽气孔的一端上下两侧分别具有一导向条。结构简单，工作方便，采用真空吸附的方式进行进行单颗芯片的吸附固定，同时可以满足边发射激光器的发光光斑的发射要求；同时通过芯片的大小调节一对挡板之间的距离，有效控制外露的抽气孔的数量，防止粉尘吸附。 | ||
| 搜索关键词： | 安装片 边发射激光器 芯片夹具 抽气孔 挡板 夹具系统 导气管 高低温 均温板 半导体制冷片 本实用新型 温度传感器 真空泵连接 测试 大小调节 单颗芯片 发光光斑 粉尘吸附 散热装置 上下两侧 吸附固定 依次设置 有效控制 真空吸附 导向条 温控板 真空泵 外露 芯片 侧面 发射 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种边发射激光器测试高低温及恒温使用夹具系统，其特征在于：包括芯片夹具、由上至下依次设置在芯片夹具下端的温控板、均温板、半导体制冷片及散热装置；所述均温板内设置有温度传感器；所述芯片夹具包括安装片、与安装片连接的真空泵及设置在安装片端部的一对挡板；所述安装片内部具有一与真空泵连接的导气管、与导气管相连通并延伸至安装片侧面的若干抽气孔；所述安装片偏向抽气孔的一端上下两侧分别具有一导向条；所述导向条沿安装片长轴方向设置，沿竖直方向的截面呈L型；所述挡板上下两端嵌套配合在导向条内，并沿导向条长轴方向移动。
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