[实用新型]反射式激光束线痕检测机构有效
| 申请号： | 201821876236.1 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN209215245U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 姜明 | 申请（专利权）人： | 苏州诚拓机械设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种反射式激光束线痕检测机构，涉及硅片线痕检测技术领域，包括底座、外壳、底板、相机、相机安装板、激光发射器、激光器支架、检测传感器、传感器支架；所述底座上设置有两块底板；所述每块底板上均设置有多个用于固定底板的底板固定孔；所述每块底板上均安装有相机安装板、激光器支架和激光反射板。本实用新型的检测机构通过在激光路径上设置的激光反射板将激光反射到待检硅片上，使得照射到待检硅片上的激光强度稳定均匀，解决了线痕检测图像不清晰的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 底板 线痕 硅片 本实用新型 激光反射板 激光器支架 相机安装板 反射式 激光束 底座 检测技术领域 传感器支架 底板固定孔 激光发射器 固定底板 激光反射 激光路径 检测图像 强度稳定 传感器 照射 激光 相机 清晰 检测 | ||
【主权项】：
1.一种反射式激光束线痕检测机构，包括底座(10)、外壳(20)、底板(30)、相机(40)、相机安装板(41)、激光发射器(50)、激光器支架(51)、检测传感器(70)、传感器支架(71)；其特征在于：所述底座(10)上设置有两块底板(30)；所述每块底板(30)上均设置有多个用于固定底板(30)的底板固定孔(31)；所述每块底板(30)上均安装有相机安装板(41)、激光器支架(51)和用于反射激光的激光反射板(60)；所述相机(40)安装在相机安装板(41)上；所述激光发射器(50)安装在激光器支架(51)上；所述传感器支架(71)安装在底座(10)上；所述检测传感器(70)安装在传感器支架(71)上。
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