[实用新型]一种晶体自动检验设备

摘要

本实用新型属于半导体制造领域，涉及一种晶体自动检验设备，包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架、搬运机械手，晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次设置在测试平台上，搬运机械手放置在晶体托架和测试平台之间。本实用新型的有益效果：自动化测量晶体长度、直径、电阻率和少子寿命的测试设备可以实现不同规格晶体质量各影响因素的测试，有效地避免了测试位置不固定、出错率高、采集不确定性等弊端,避免了人为测试带来的测试误差，提高测试准确度，节约工作时间，解决人工成本。

主权项

1.晶体自动检验设备，其特征在于：包括晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置、晶体托架和搬运机械手，所述晶体长度检测装置、晶体直径检测装置、晶体电阻率检测装置、晶体少子寿命检测装置依次设置在测试平台上；所述搬运机械手放置在所述晶体托架和测试平台之间；所述晶体长度检测装置包括第一滑动组件、支撑底板、托辊平台、长度检测对射支架和激光测距传感器，所述支撑底板与所述测试平台固定连接，所述第一滑动组件与测试平台固定连接；所述托辊平台设置在所述支撑底板上，所述长度检测对射支架通过滑块与第一滑动组件滑动连接，所述长度检测对射支架与所述激光测距传感器连接；所述晶体直径检测装置包括第一旋转平台、直径扫描架、直径传感器、第二滑动组件，所述第一旋转平台与所述测试平台固定连接，所述第二滑动组件与测试平台固定连接，所述直径扫描架设置在所述旋转平台上方，多个所述直径传感器设置在所述直径扫描架上，所述直径扫描架与所述第二滑动组件滑动连接。