[实用新型]干式90度转向分片装置有效

专利信息
申请号: 201821856033.6 申请日: 2018-11-12
公开(公告)号: CN209016082U 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 王相军;胡宏峰 申请(专利权)人: 上海釜川自动化设备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 李丽君
地址: 200000 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种干式90度转向分片装置,包括机架,所述机架上设有水平的送料机构,所述送料机构的一侧设有垂直设置的传送机构,所述传送机构的上方设有90度转向机构,所述传送机构与90度转向机构之间设有吹气系统,所述90度转向机构的两侧均设有吸气系统,所述90度转向机构通过支架倾斜的固定在机架上,所述支架的夹角呈度。本实用新型通过改变现有干式分片的方式,通过吹气系统的风力将硅片吹开,再通过真空负压的吸气系统和带弧度的输送皮带实现快速分片,将原有的干式分片方式下分离硅片3600片/时,提高至6500~8000片/时,不但提高了效率和产能,且不仅局限于制绒,还可以在很多工艺上运用本实用新型的硅片处理方式。
搜索关键词: 干式 本实用新型 传送机构 吹气系统 分片装置 送料机构 吸气系统 硅片 支架 垂直设置 硅片处理 输送皮带 真空负压 原有的 产能 制绒 局限 风力
【主权项】:
1.一种干式90度转向分片装置,其特征在于,包括机架(1),所述机架(1)上设有水平的送料机构(2),所述送料机构(2)的一侧垂直设有传送机构(9),所述传送机构(9)的上方设有90度转向机构(6),所述传送机构(9)与90度转向机构(6)之间设有吹气系统(3),所述90度转向机构(6)的两侧均设有吸气系统(5),所述90度转向机构(6)通过支架倾斜的固定在机架(1)上,所述支架的夹角呈40度。
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