[实用新型]干式90度转向分片装置有效
申请号: | 201821856033.6 | 申请日: | 2018-11-12 |
公开(公告)号: | CN209016082U | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 王相军;胡宏峰 | 申请(专利权)人: | 上海釜川自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 李丽君 |
地址: | 200000 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种干式90度转向分片装置,包括机架,所述机架上设有水平的送料机构,所述送料机构的一侧设有垂直设置的传送机构,所述传送机构的上方设有90度转向机构,所述传送机构与90度转向机构之间设有吹气系统,所述90度转向机构的两侧均设有吸气系统,所述90度转向机构通过支架倾斜的固定在机架上,所述支架的夹角呈度。本实用新型通过改变现有干式分片的方式,通过吹气系统的风力将硅片吹开,再通过真空负压的吸气系统和带弧度的输送皮带实现快速分片,将原有的干式分片方式下分离硅片3600片/时,提高至6500~8000片/时,不但提高了效率和产能,且不仅局限于制绒,还可以在很多工艺上运用本实用新型的硅片处理方式。 | ||
搜索关键词: | 干式 本实用新型 传送机构 吹气系统 分片装置 送料机构 吸气系统 硅片 支架 垂直设置 硅片处理 输送皮带 真空负压 原有的 产能 制绒 局限 风力 | ||
【主权项】:
1.一种干式90度转向分片装置,其特征在于,包括机架(1),所述机架(1)上设有水平的送料机构(2),所述送料机构(2)的一侧垂直设有传送机构(9),所述传送机构(9)的上方设有90度转向机构(6),所述传送机构(9)与90度转向机构(6)之间设有吹气系统(3),所述90度转向机构(6)的两侧均设有吸气系统(5),所述90度转向机构(6)通过支架倾斜的固定在机架(1)上,所述支架的夹角呈40度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的