[实用新型]MEMS麦克风芯片及麦克风有效
| 申请号： | 201821853555.0 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN208971807U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 徐达 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS麦克风芯片及麦克风，包括衬底及设置在所述衬底上的振膜和背极板，所述衬底底部内测设有延伸结构，所述延伸结构底部设有凹槽。通过设置具有凹槽的延伸结构，可以有效解决MEMS芯片与线路板之间固定时产生的胶材“爬胶”问题，从而避免影响MEMS麦克风的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 延伸结构 衬底 麦克风 本实用新型 线路板 有效解决 背极板 胶材 振膜 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风芯片，包括衬底及设置在所述衬底上的振膜和背板，其特征在于，所述衬底底部内测设有延伸结构，所述延伸结构底部设有凹槽。
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