[实用新型]固定晶圆治具

摘要

本实用新型实施例公开了一种固定晶圆治具。本实用新型的固定晶圆治具，包括：基板、圆形海绵垫、第一载台、第一支撑柱、第二载台和第二支撑柱。第一载台呈圆环形具有第一圆形开口，通过第一支撑柱架设在基板的上方。第二载台呈圆环形具有第二圆形开口，通过第二支撑柱架设在基板的上方，且位于第一载台的上方。圆形海绵垫设置在基板上，位于第一圆形开口的下方，圆形海绵垫的面积大于第一圆形开口的面积，第二圆形开口的直径大于第一圆形开口的直径。本实用新型的固定晶圆治具，将晶圆背面朝上放置在相应的载台上，通过顶针将需要的芯片从晶圆上顶下来，操作方便，且可及时观察晶圆的背面崩缺情况，掌握晶圆的切割品质。

主权项

1.一种固定晶圆治具，其特征在于，包括：基板、圆形海绵垫、第一载台、多根第一支撑柱、第二载台和多根第二支撑柱；所述第一载台呈圆环形并具有第一圆形开口，所述第一载台通过多根所述第一支撑柱架设在所述基板的上方；所述第二载台呈圆环形并具有第二圆形开口，所述第二载台通过多根所述第二支撑柱架设在所述基板的上方，且所述第二载台位于所述第一载台的上方；所述圆形海绵垫设置在所述基板的上表面上，位于所述第一圆形开口的下方，所述圆形海绵垫的面积大于所述第一圆形开口的面积；所述第二圆形开口的直径大于所述第一圆形开口的直径，且所述第二圆形开口在所述圆形海绵垫上的投影覆盖所述第一圆形开口在所述圆形海绵垫上的投影。