[实用新型]一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体，包括杯形合金应变弹性体，所述合金应变弹性体上连接有金属电路板支撑环，所述在杯形合金应变弹性体顶部外表面由内向外依次溅射有三氧化二铝绝缘层、溅射薄膜电阻层、溅射三氧化二铝保护膜层以及Pt引线层。合金应变弹性体采用GH3044镍基高温高弹性合金，从而实现了高温、高压和恶劣环境下的性能稳定，提高了传感器精度；采用溅射薄膜电阻层材料为PdCr13，使溅射电阻薄膜附着力更强，实现敏感元件与弹性体的原子结合，解决传统应变传感器因敏感元件与弹性体之间粘接剂因高温受力滑动产生的温度漂移、零点漂移从而导致的不稳定、不可靠的问题。

主权项

1.一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体，其特征在于，包括杯形合金应变弹性体(1)，所述合金应变弹性体(1)上连接有金属电路板支撑环(2)，所述杯形合金应变弹性体(1)顶部外表面由内向外依次溅射有三氧化二铝绝缘层(3)、溅射薄膜电阻层(4)、溅射三氧化二铝保护膜层(5)以及Pt引线层(6)，所述Pt引线层(6)端部均设有Pt引线点，所述金属电路板支撑环(2)远离连接合金应变弹性体(1)另一端外侧设有厚膜补偿电路板(7)。