[实用新型]一种基于DMD数字光刻头的引擎支撑装置有效
| 申请号： | 201821824322.8 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN209356845U | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 卢振武;孙强;许文斌;蔺春波;刘建卓;许家林;王鹤;徐佳 | 申请（专利权）人： | 长春长光中天光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130000 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于DMD数字光刻头的引擎支撑装置，包括：机体，其包括：支架、导轨、工作台和机身；移动装置，所述移动总成包括：第一电动缸，滑板、第二电动缸、第三电动缸；减震装置，其设置在所述工作台和所述机身之间，所述减震装置包括：壳体、弹簧。本实用新型提供的一种基于DMD数字光刻头的引擎支撑装置结构简单，自动化程度高，散热性好，使用寿命长，在工作的过程中隔振效果好，工作稳定性强，工作效率高，能节省时间和人力。 | ||
| 搜索关键词： | 电动缸 数字光 引擎 本实用新型 减震装置 支撑装置 工作台 机身 支撑装置结构 工作稳定性 工作效率高 隔振效果 散热性好 使用寿命 移动装置 移动总成 滑板 弹簧 导轨 壳体 支架 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种基于DMD数字光刻头的引擎支撑装置，其特征在于，包括：机体(1)，其包括：支架(12)、导轨(11)、工作台(13)和机身(14)，所述导轨(11)的一端设置在所述支架(12)的一端上，所述支架(12)的另一端设置在所述工作台(13)上，所述工作台(13)设置在机身(14)上；移动装置(2)，所述移动装置包括：第一电动缸(21)、滑板(22)、第二电动缸(23)、第三电动缸(24)，所述第一电动缸(21)的一端设置在支架(12)上，所述第一电动缸(21)的另一端与所述滑板(22)的一侧铰接，所述滑板(22)与导轨(11)垂直放置，所述滑板(22)的底部两端分别设置在导轨(11)上，所述第二电动缸(23)的一端设置在滑板(22)上，所述第二电动缸(23)的另一端设置在所述第三电动缸(24)的中部，所述滑板(22)上设置有滑槽(221)，所述第三电动缸(24)设置在滑槽(221)内；所述第三电动缸(24)可在滑槽(221)内移动；减震装置(3)，其设置在所述工作台(13)和所述机身(14)之间，所述减震装置(3)包括：壳体(31)、弹簧(35)，所述壳体(31)包括相扣合的上壳体(311)和下壳体(312)，所述弹簧(35)设置在壳体(31)内，所述弹簧(35)的一端设置在所述上壳体(311)上，所述弹簧(35)的另一端设置在下壳体(312)上，所述上壳体(311)的上端设置在所述工作台(13)上，所述下壳体(312)的下端设置在所述机身(14)的顶端上。
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