[实用新型]一种TFT研磨前清洗机

摘要

本实用新型公开了一种TFT研磨前清洗机，包括机架、机箱、传送辊、纯水刷洗机构、纯水喷淋机构、风干机构、液位浮子、棉芯、过滤器、球阀和离子棒，所述机架上端设置有机箱，所述机箱内部一侧设置有传送辊，本实用新型设备为组合式设计，方便装拆，以便日后工艺变化增减功能或改变各工序部件的组合，以适应各种生产工艺，且地脚可容许设备的水平高度有±20MM的调整，方便客户配套其他机组使用；该设备的生产空间和传动空间被完全隔离，令传动可能产生的粉尘不会污染生产区域，分隔系统采用可拆式系统构成，方便清洗及设备维护，生产区域的生产温度不会影响外机身板，生产区域后侧设有抽气，保证洁净的生产环境。

主权项

1.一种TFT研磨前清洗机，包括机架(1)、机箱(2)、传送辊(3)、纯水刷洗机构(4)、纯水喷淋机构(5)、风干机构(6)、液位浮子(7)、棉芯(8)、过滤器(9)、球阀(10)和离子棒(11)，其特征在于：所述机架(1)上端设置有机箱(2)，所述机箱(2)内部一侧设置有传送辊(3)，所述传送辊(3)一侧设置有纯水刷洗机构(4)，所述纯水刷洗机构(4)包括冲洗管(401)、第一风刀(402)、第一喷管(403)、第一喷嘴(404)、刷辊(405)、毛刷(406)、刷洗马达(407)、第一液箱(408)、第一加热器(409)、第一喷淋泵(410)、第一连接管(411)和第一分水管(412)，所述冲洗管(401)一端安装有第一风刀(402)，且第一风刀(402)位于传送辊(3)上方，所述第一风刀(402)一侧相对于传送辊(3)上下两侧均设置有第一喷管(403)，所述第一喷管(403)一端均匀安装有第一喷嘴(404)，所述第一喷嘴(404)下侧设置有刷辊(405)，且刷辊(405)表面设置有毛刷(406)，所述刷辊(405)一端延伸至机箱(2)外部，所述刷辊(405)一端安装有刷洗马达(407)，所述机架(1)下端内部设置有第一液箱(408)，所述第一液箱(408)内部设置有第一加热器(409)，所述第一液箱(408)一侧设置有第一喷淋泵(410)，所述第一喷淋泵(410)一端通过第一连接管(411)与第一液箱(408)连通，所述第一喷淋泵(410)另一端设置有第一分水管(412)，且第一分水管(412)一端与第一喷管(403)连通，所述纯水刷洗机构(4)一侧设置有纯水喷淋机构(5)，所述纯水喷淋机构(5)包括第二喷管(501)、第二喷嘴(502)、第二液箱(503)、第二加热器(504)、第二喷淋泵(505)、第二连接管(506)、第二分水管(507)、第三喷管(508)、第三喷嘴(509)、第三液箱(510)、第三喷淋泵(511)、第三连接管(512)、第三分水管(513)、第四连接管(514)、DI水源(515)和流量计(516)，所述机箱(2)内部相对于传送辊(3)上下两侧均设置有第二喷管(501)，所述第二喷管(501)一端均匀安装有第二喷嘴(502)，所述机架(1)内部设置有第二液箱(503)，所述第二液箱(503)内部设置有第二加热器(504)，所述第二液箱(503)一侧设置有第二喷淋泵(505)，所述第二喷淋泵(505)一端通过第二连接管(506)与第二液箱(503)连通，所述第二喷淋泵(505)另一端设置有第二分水管(507)，且第二分水管(507)一端与第二喷管(501)连通，所述第二喷管(501)一侧设置有第三喷管(508)，所述第三喷管(508)一端均匀安装有第三喷嘴(509)，所述第二液箱(503)一侧设置有第三液箱(510)，所述第三液箱(510)一侧设置有第三喷淋泵(511)，所述第三喷淋泵(511)一端通过第三连接管(512)与第三液箱(510)连通，所述第三喷淋泵(511)另一端设置有第三分水管(513)，且第三分水管(513)一端与第三喷管(508)连通，所述第三分水管(513)进水端通过第四连接管(514)连通有DI水源(515)，且第四连接管(514)一端设置有流量计(516)，所述纯水喷淋机构(5)一侧设置有风干机构(6)，所述风干机构(6)包括风机(601)、分布器(602)、气管(603)、第二风刀(604)和铰接座(605)，所述机箱(2)上部侧壁两端均安装有风机(601)，所述风机(601)一端相对于机箱(2)内壁安装有分布器(602)，所述分布器(602)下端通过气管(603)连接有第二风刀(604)，且第二风刀(604)两端均通过铰接座(605)与机箱(2)内壁连接。