[实用新型]真空镀膜设备用快速散热电弧靶材冷却机构有效
| 申请号： | 201821814528.2 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209338641U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 徐明清 | 申请（专利权）人： | 常州市迈瑞廷涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜设备用快速散热电弧靶材冷却机构，包括本体，所述本体内开设有空腔体，所述本体位于空腔体内的一端设置有立柱，所述本体上设置有进水管和出水管，所述本体内开设有第一通道和第二通道，本实用新型真空镀膜设备用快速散热电弧靶材冷却机构在使用时，通过在立柱上第一通道的一端设置两个前挡板，以及第二通道的一端设置两个后挡板，两个前挡板之间形成用于限制第一通道进入冷却水的限制区，同理两个后挡板形成用于限制冷却后的水由空腔体进入第二通道的限制区，这样就使得空腔体底部的水能够循环，也就不会有“死水”形成，提高了真空镀膜设备的冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜设备 快速散热 冷却机构 一端设置 电弧靶 本实用新型 后挡板 前挡板 限制区 立柱 腔体 体内 冷却效果 出水管 进水管 空腔体 冷却水 死水 空腔 内开 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备用快速散热电弧靶材冷却机构，其特征在于：包括本体(1)，所述本体(1)内开设有空腔体(101)，所述本体(1)位于空腔体(101)内的一端设置有立柱(2)，所述本体(1)上设置有进水管(5)和出水管(6)，所述本体(1)内开设有第一通道(3)和第二通道(4)，所述第一通道(3)的一端与进水管(5)的一端连通，所述第一通道(3)的另一端与空腔体(101)连通，所述第二通道(4)的一端与出水管(6)连通，所述第二通道(4)的另一端与空腔体(101)连通，所述立柱(2)上设置有至少两个前挡板(7)及两个后挡板(8)，两个所述前挡板(7)沿立柱(2)轴向设置，所述第一通道(3)的一端位于两个前挡板(7)之间，两个所述后挡板(8)沿立柱(2)轴向设置，所述第二通道(4)的一端位于两个后挡板(8)之间。
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