[实用新型]亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置

摘要

一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，包括放卷机构、亚真空低温等离子体材料处理设备和放卷机构，亚真空低温等离子体材料处理设备包括一个以上的主腔体和多级真空缓冲腔体，主腔体位于中间，各级缓冲腔体对称分布于主腔体两侧，沿着材料的走向依次排布，所述主腔体与缓冲腔体之间或相邻缓冲腔体之间通过隔板封闭，隔板中部设有通孔，亚真空低温等离子体材料处理设备的电极组贯穿主腔体和各缓冲腔体，材料从电极组的放电间隙中穿过，所述主腔体的真空范围为99900～10Pa。本实用新型可实现在亚真空环境下，对一定宽幅范围内的材料的连续处理，且相较于常压低温等离子体处理装置对材料具有更好的处理效果，工作效率高，工作稳定。

主权项

1.一种亚真空低温等离子体在线连续材料处理装置，包括放卷机构（1）、亚真空低温等离子体材料处理设备（2）和收卷机构（4），其特征在于：所述亚真空低温等离子体材料处理设备（2）包括一个以上的主腔体（16）和多级真空缓冲腔体（19），主腔体（16）位于中间，各级缓冲腔体（19）对称分布于主腔体（16）两侧，沿着所需处理材料的走向依次排布，所述主腔体（16）与缓冲腔体（19）之间或相邻缓冲腔体（19）之间通过隔板封闭，所述隔板中部设有介质阻挡结构电极组和材料通过的通孔，亚真空低温等离子体材料处理设备（2）的电极组贯穿主腔体（16）和各缓冲腔体（19），材料从电极组的放电间隙中穿过，所述主腔体（16）的真空范围为99900～10Pa。