[实用新型]一种高纯气体取样器

摘要

本实用新型在此提供一种高纯气体取样器；本产品是将高纯气体（ppb，ppm级N2，CDA，O2等）从管路系统中取样并送气体纯化间或实验室。对气体进行检测。该取样器具有如下改进，具有快插接头用于接入气体管路系统上预留取样点，取样后送实验室用于在线监测仪等设备接入；并设置针型阀用于管路切断并连通；通过取样器箱形外壳容纳设备，便于携带；设置由压力表、数显水分仪、氧浓度仪；通过内部的真空泵取样罐抽真空，减少外部气体干扰；通过止回阀防止抽真空过程中气体回流；通过过滤器保护真空泵。

主权项

1.一种高纯气体取样器，其特征在于：该取样器具有用于与气体管路系统上预留取样点接入的快插接头（1）；用于管路切断并连通的针型阀（2）；取样罐（3）；用于容纳设备的取样器箱形外壳（4）；用充气及放气时监测压力的压力表（5）；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的数显水分仪（6）；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的氧浓度仪（7）；用于取样罐抽真空的真空泵（8）；抽真空过程中避免气体回流的止回阀（9）；保护真空泵的过滤器（10）以及预留接口（11）；其中快插接头（1）通过管路与针型阀（2）连通，针型阀（2）的出口端连通取样罐（3），压力表（5）、数显水分仪（6）和氧浓度仪（7）分别连通取样罐（3）；取样罐（3）的下端出口管路上分别设置止回阀（9）、过滤器（10）和真空泵（8），取样罐（3）的侧面和底部分别连接预留接口（11）。