[实用新型]一种高纯气体取样器

说明书

本实用新型在此提供一种高纯气体取样器；本产品是将高纯气体（ppb，ppm级N2，CDA，O2等）从管路系统中取样并送气体纯化间或实验室。对气体进行检测。该取样器具有如下改进，具有快插接头用于接入气体管路系统上预留取样点，取样后送实验室用于在线监测仪等设备接入；并设置针型阀用于管路切断并连通；通过取样器箱形外壳容纳设备，便于携带；设置由压力表、数显水分仪、氧浓度仪；通过内部的真空泵取样罐抽真空，减少外部气体干扰；通过止回阀防止抽真空过程中气体回流；通过过滤器保护真空泵。

技术领域

本实用新型涉及一种取样器，具体来讲是一种高纯气体取样器。

背景技术

中国已经成为第三次半导体产业转移的核心地，半导体产业项目需要用到各种纯度极高的气体作为保护气等作用。相关厂房中，高纯气体从气站出来后进入气体纯化间，纯化为合格气体后进入厂房管路系统，一直打各个工艺机台。在纯化间出来直到各个工艺机台的过程中管路系统一般长达数百米甚至上千米，某一个工艺机台的某一个用气点出现气体纯度有问题往往难以排查，只能把这种气体管路全部切断，排查，严重可能造成整个生产线停机。最好的办法就是从上一级的用气点进行取样送检，因为气体流向单一，如果发现上一级气体合格，则上一级所有的机台可以不用停机，同时还能缩小排查范围，更快找出问题点。因为是高纯气体，一般的容器无法进行取样，容易造成外部引入的干扰，造成检测结果不符合事实。高纯气体取样器必须具备如下几个特点：由于管路在厂房内距离远，所以取样器必须方便移动；接入气体管路后必须要吹扫一段时间，取样器上有水氧浓度检测，压力检测，可以判断管道气体吹扫是否达到要求；高纯气体取样必须严格防止外部气体泄漏，否则影响检测结果。

实用新型内容

因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种高纯气体取样器；本产品是将高纯气体（ppb，ppm级N2，CDA，O2等）从管路系统中取样并送气体纯化间或实验室。对气体进行检测。该取样器具有如下改进，具有快插接头用于接入气体管路系统上预留取样点，取样后送实验室用于在线监测仪等设备接入；并设置针型阀用于管路切断并连通；通过取样器箱形外壳容纳设备，便于携带；设置由压力表、数显水分仪、氧浓度仪；通过内部的真空泵取样罐抽真空，减少外部气体干扰；通过止回阀防止抽真空过程中气体回流；通过过滤器保护真空泵。

本实用新型是这样实现的，构造一种高纯气体取样器，其特征在于：该取样器具有，用于与气体管路系统上预留取样点接入的快插接头；用于管路切断并连通的针型阀；取样罐；用于容纳设备的取样器箱形外壳；用充气及放气时监测压力的压力表；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的数显水分仪；用于监测取样气体是否与系统中气体参数一致的氧浓度仪；用于取样罐抽真空的真空泵；抽真空过程中避免气体回流的止回阀；保护真空泵的过滤器以及预留接口；其中快插接头通过管路与针型阀连通，针型阀的出口端连通取样罐，压力表、数显水分仪和氧浓度分别连通取样罐；取样罐的下端出口管路上分别设置止回阀、过滤器和真空泵，取样罐的侧面和底部分别连接预留接口。

根据本实用新型所述一种高纯气体取样器，其特征在于：取样罐容积约10L。

本实用新型具有如下优点：本实用新型在此提供一种高纯体取样器，本产品是将高纯气体（ppb，ppm级N2，CDA，O2等）从管路系统中取样并送气体纯化间或实验室。对气体进行检测。该取样器具有如下改进，具有快插接头用于接入气体管路系统上预留取样点，取样后送实验室用于在线监测仪等设备接入；并设置针型阀用于管路切断并连通；通过取样器箱形外壳容纳设备，便于携带；设置由压力表、数显水分仪、氧浓度仪；通过内部的真空泵取样罐抽真空，减少外部气体干扰；通过止回阀防止抽真空过程中气体回流；通过过滤器保护真空泵。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

其中：快插接头1；针型阀2；取样罐3；取样器箱形外壳4；用压力表5；数显水分仪6；氧浓度仪7；真空泵8；止回阀9；过滤器10；预留接口11。

具体实施方式