[实用新型]一种用于滤光片镀膜机的抽真空系统有效
| 申请号： | 201821761891.2 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN208995594U | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 李亚洲 | 申请（专利权）人： | 理念光电（湖北）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 42226 | 代理人： | 姜荣华 |
| 地址： | 443200 湖北省宜昌*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种用于滤光片镀膜机的抽真空系统，包括镀膜机，所述的镀膜机壳体上设有导气管，导气管一端与镀膜机连接，另一端与水滤室连接，水滤室与除湿室连接，除湿室与镀膜机连接；导气管与镀膜机连接的一端上设有多个支管，多个支管分为两组，对称设置在镀膜机的壳体壁上，且同一组中的多个支管等间距均布设置；导气管上设有机械泵、罗茨泵和扩散泵，机械泵、罗茨泵和扩散泵并联设置在导气管上。采用上述结构，能够有效提升镀膜机在真空环境下的真空稳定性，并降低镀膜机内抽真空难度。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜机 导气管 支管 抽真空系统 除湿室 机械泵 扩散泵 滤光片 罗茨泵 水滤 等间距均布 真空稳定性 并联设置 对称设置 真空环境 抽真空 机壳体 壳体壁 镀膜 两组 | ||
【主权项】：
1.一种用于滤光片镀膜机的抽真空系统，包括镀膜机（1），其特征是：所述的镀膜机（1）壳体上设有导气管（2），导气管（2）一端与镀膜机（1）连接，另一端与水滤室（9）连接，水滤室（9）与除湿室（14）连接，除湿室（14）与镀膜机（1）连接；所述的导气管（2）与镀膜机（1）连接的一端上设有多个支管（201），多个支管（201）分为两组，对称设置在镀膜机（1）的壳体壁上，且同一组中的多个支管（201）等间距均布设置；所述的导气管（2）上设有机械泵（3）、罗茨泵（4）和扩散泵（5），机械泵（3）、罗茨泵（4）和扩散泵（5）并联设置在导气管（2）上。
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