[实用新型]一种能有效避免非敏感方向误触发的三轴阈值加速度计有效
| 申请号： | 201821751742.8 | 申请日： | 2018-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN208969124U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 陈文国;孔德剑;王瑞;王慧颖 | 申请（专利权）人： | 曲靖师范学院 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 云南省曲靖市专利事务所 53104 | 代理人： | 周厚明 |
| 地址： | 65500*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微机电系统技术领域，具体涉及一种能有效避免非敏感方向误触发的三轴阈值加速度计，包括衬底、可动电极悬挂弹簧、质量块、水平固定电极和垂直固定电极。衬底上设有凸条、可动电极支撑柱子、水平固定电极支撑柱子和垂直固定电极支撑柱子。可动电极悬挂弹簧一端与质量块相连、另一端与可动电极支撑柱子相连并将质量块悬空于凸条和水平固定电极支撑柱子上方，形成可动电极。水平固定电极一端与水平固定电极支撑柱子固定连接，另一端位于质量块侧面。垂直固定电极与垂直固定电极支撑柱子固定连接形成悬臂梁结构，垂直固定电极悬空于质量块上方。本实用新型实现了敏感方向和非敏感方向的加速度梯度差分，提高了器件的可靠性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 柱子 垂直固定电极 水平固定电极 可动电极 质量块 支撑 敏感 本实用新型 加速度计 悬挂弹簧 误触发 衬底 三轴 凸条 悬空 微机电系统技术 加速度梯度 悬臂梁结构 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种能有效避免非敏感方向误触发的三轴阈值加速度计，包括衬底（1）、可动电极悬挂弹簧（4）、质量块（5）、水平固定电极（7）和垂直固定电极（9），衬底（1）上固定设有凸条（2）、可动电极支撑柱子（3）和垂直固定电极支撑柱子（8），其特征在于：衬底（1）上还固定设有水平固定电极支撑柱子（6），水平固定电极（7）的一端与水平固定电极支撑柱子（6）固定连接、另一端悬空位于质量块（5）侧面形成悬臂结构；可动电极悬挂弹簧（4）一端与质量块（5）相连、另一端与可动电极支撑柱子（3）相连并将质量块（5）悬空于凸条（2）上方，质量块（5）为中心开有通孔的六边形结构，可动电极支撑柱子（3）、可动电极悬挂弹簧（4）和质量块（5）组成非对称结构的可动电极；垂直固定电极（9）与垂直固定电极支撑柱子（8）固定连接形成三向悬臂梁结构，垂直固定电极（9）悬空于质量块（5）上方，垂直固定电极（9）中心开有通孔。
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