[实用新型]一种抛光台温度控制装置有效
| 申请号： | 201821726295.0 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN208929947U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 方明喜;肖学才;常强 | 申请（专利权）人： | 爱利彼半导体设备（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B55/00;F24H9/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种抛光台温度控制装置，包括恒温热水箱和恒温冷水箱，所述恒温热水箱和恒温冷水箱通过引流泵与电磁三通调节阀相连接，所述电磁三通调节阀通过混合缓冲箱与抛光台的进水口相连接，所述抛光台的出水口通过回水温度传感器与回水箱相连接；所述抛光台的上部设置有辐射温度传感器；所述恒温热水箱和恒温冷水箱内设置有热交换器和混合搅拌器，所述恒温热水箱和恒温冷水箱的上部和下部分别设置有上温度传感器、下温度传感器。本实用新型能够对抛光台的温度进行精确的控制，将抛光台的工作温度长时间控制在合理范围内，不会产生温度波动，大大保证了抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光台 恒温热水箱 冷水箱 温度控制装置 本实用新型 电磁三通 辐射温度传感器 回水温度传感器 上温度传感器 下温度传感器 混合缓冲箱 混合搅拌器 引流 热交换器 时间控制 温度波动 出水口 回水箱 进水口 抛光 保证 | ||
【主权项】：
1.一种抛光台温度控制装置，其特征在于：包括恒温热水箱和恒温冷水箱，所述恒温热水箱和恒温冷水箱通过引流泵与电磁三通调节阀相连接，所述电磁三通调节阀通过混合缓冲箱与抛光台的进水口相连接，所述抛光台的出水口通过回水温度传感器与回水箱相连接；所述抛光台的上部设置有辐射温度传感器；所述恒温热水箱和恒温冷水箱内设置有热交换器和混合搅拌器，所述恒温热水箱和恒温冷水箱的上部和下部分别设置有上温度传感器、下温度传感器，还包括控制器，所述电磁三通调节阀、引流泵、回水温度传感器、辐射温度传感器、上温度传感器、下温度传感器、混合搅拌器分别与所述控制器相连接。
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