[实用新型]一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置

摘要

本实用新型涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置，其可以方便对多组单晶硅棒进行同时磨方处理，缩短耗时；可以方便控制滚磨与单晶硅棒之间的距离，减少磨方失误，减少资源的浪费；并且其可以方便控制单晶硅棒准确旋转90度；包括电机、传动轴和滚磨；还包括底座、四组支腿、两组支撑柱、顶板、底板、多组支撑杆、多组固定座和两组调节螺纹杆，两组调节螺纹杆底端分别设置有两组旋转板；还包括移动板、左移动轨道、右移动轨道、保护壳、两组连接轴、两组左滑轮、固定轴和右滑轮，保护壳右侧壁设置有挡盖；还包括多组齿轮、多组连接杆、多组固定板、压板、多组方形插杆和两组固定弹簧。

主权项

1.一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置，包括电机(1)、传动轴(2)和滚磨(3)，滚磨(3)左侧壁中央区域设置有固定槽，传动轴(2)左端与电机(1)右侧壁输出端连接，并且传动轴(2)右端插入固定槽内并与固定槽内侧壁连接；其特征在于，还包括底座(4)、四组支腿(5)、两组支撑柱(6)、顶板(7)、底板(8)、多组支撑杆(9)、多组固定座(10)和两组调节螺纹杆(11)，所述四组支腿(5)顶端分别与底座(4)底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述两组支撑柱(6)底端和顶端分别与底座(4)顶部和顶板(7)底部左前侧和右前侧连接，所述底座(4)上设置有多组下通孔，所述多组支撑杆(9)底端分别穿过多组下通孔并与底板(8)顶部连接，所述底板(8)左半区域和右半区域分别设置有两组调节孔，并在两组调节孔内侧壁分别设置有与两组调节螺纹杆(11)相对应的内螺纹，所述两组调节螺纹杆(11)顶端分别螺装通过两组调节孔并与底座(4)底部左半区域和右半区域可转动连接，并在两组调节螺纹杆(11)底端分别设置有两组旋转板(12)，所述多组固定座(10)分别可转动安装在多组支撑杆(9)顶端，并在多组固定座(10)顶部分别设置有多组定位槽；还包括移动板(13)、左移动轨道(14)、右移动轨道、保护壳(15)、两组连接轴(16)、两组左滑轮、固定轴(17)和右滑轮(18)，所述左移动轨道(14)和右移动轨道底端分别安装在移动板(13)顶部左端和右端，并在左移动轨道(14)右侧壁和右移动轨道左侧壁上分别设置有左滑槽和右滑槽，所述保护壳(15)内设置有保护腔，并在保护壳(15)右侧壁设置有安装口，安装口与保护腔相通，所述保护壳(15)右侧壁设置有挡盖(19)，所述电机(1)位于保护壳(15)内，所述传动轴(2)左端穿过挡盖(19)，所述两组连接轴(16)左端和右端分别与两组左滑轮和保护壳(15)左侧壁连接，所述两组左滑轮均位于左滑槽内，所述固定轴(17)左端和右端分别与滚磨(3)右侧壁中央区域和右滑轮(18)连接，所述右滑轮(18)位于右滑槽内；还包括多组齿轮(20)、多组连接杆(21)、多组固定板(22)、压板(23)、多组方形插杆(24)和两组固定弹簧(25)，所述顶板(7)上设置有多组上通孔，所述多组连接杆(21)顶端分别与多组齿轮(20)底部中央区域连接，并且多组连接杆(21)底端分别穿过多组上通孔并与多组固定板(22)顶部中央区域连接，多组齿轮(20)依次啮合，所述两组固定弹簧(25)顶端和底端分别与压板(23)底部和顶板(7)顶部左半区域和右半区域连接，所述多组齿轮(20)顶部中央区域分别设置有多组方形插槽，所述多组方形插杆(24)均安装在压板(23)底部，并且多组方形插杆(24)底端分别插入多组方形插槽内。