[实用新型]气体室排气充气控制系统

摘要

本实用新型涉及一种气体室排气充气控制系统，包括：质量流量计、气体泄漏探头、泵、阀、报警器、模拟量模块、数字量模块、真空计和上位机；所述质量流量计与模拟量模块连接，所述气体泄漏探头与模拟量模块连接，所述泵与数字量模块连接，所述阀与数字量模块连接，所述报警器与数字量模块连接，所述模拟量模块、数字量模块和真空计均与上位机连接。

主权项

1.一种气体室排气充气控制系统，其特征在于，包括：质量流量计、气体泄漏探头、泵、阀、报警器、模拟量模块、数字量模块、真空计和上位机；所述质量流量计与模拟量模块连接，所述气体泄漏探头与模拟量模块连接，所述泵与数字量模块连接，所述阀与数字量模块连接，所述报警器与数字量模块连接，所述模拟量模块、数字量模块和真空计均与上位机连接；所述质量流量计用于测量气体充入量；所述气体泄漏探头用于检测泄漏气体的浓度值；所述模拟量模块用于采集质量流量计的气体充入量，并将采集的气体充入量上传至上位机；用于采集气体泄漏探头测出的泄漏气体的浓度值，并将泄漏气体的浓度值上传至上位机；所述数字量模块用于根据上位机下发的指令控制泵、阀和报警器；并采集泵和阀的开关状态，反馈给上位机；所述泵用于对气体室抽真空；所述阀用于控制对气体室抽真空和充气；所述真空计用于检测气体室的真空度，并将真空度通过通讯接口上传至上位机；所述上位机用于根据客户设定的气体参数值，控制气体种类、气体充入顺序及气体充入量；接收模拟量模块上传的气体充入量，若气体充入量未达到客户设定的气体参数值，则控制阀继续向气体室充气，若气体充入量达到客户设定的气体参数值，则控制阀停止向气体室充气；所述上位机用于将接收到的泄漏气体的浓度值与客户设定的报警数值进行比较，若泄漏气体的浓度值高于客户设定的报警数值，则控制报警器进行报警处理；所述上位机用于接收真空计上传的真空度，根据真空度判断气体室是否达到真空要求，若气体室达到真空要求，则控制泵和阀关闭，若气体室未达到真空要求，则控制泵和阀继续抽真空。