[实用新型]镀膜装置有效
| 申请号： | 201821648803.8 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN209194046U | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 杨肸曦 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘诚 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种镀膜装置。所述镀膜装置包括至少两个载体、腔室、至少两个传感器和传输控制装置。根据所述传感器检测所述载体的位置信息，所述传输控制装置可以控制所述载体的移动速度，从而控制所述载体在镀膜区域时实现无缝搭接的目的，避免相邻的所述载体在所述镀膜区域出现间隔，影响溅射工艺的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜装置 传输控制装置 镀膜区域 传感器检测 无缝搭接 传感器 溅射 腔室 移动 申请 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置(10)，其特征在于，包括：移动进入腔室(500)内的至少两个载体(100)；至少两个传感器(600)，间隔设置，用以检测所述载体(100)的位置信息；以及传输控制装置(700)，与所述至少两个传感器(600)电连接，用于根据所述载体(100)的位置信息，调整所述载体(100)的移动速度，以使相邻的两个所述载体(100)在预设的镀膜区域内处于搭接状态。
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