[实用新型]一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置有效
| 申请号： | 201821637092.4 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN209278473U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 宋宜梅;黄以平;李少林 | 申请（专利权）人： | 桂林实创真空数控设备有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/02 | 分类号： | F16J15/02 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 覃永峰 |
| 地址： | 541004 广西壮族自治区*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置，涉及真空室内精密机构安装技术领域，解决的技术问题是因真空室壁面变形而对其内安装的精密机构位移精度影响，该装置包括真空室壁、缓冲密封装置、刚性安装座，缓冲密封装置套装在刚性安装座外圆表面上，刚性安装座一端穿过真空室壁上通孔与精密运行机构安装座连接，另一端固定安装在真空室外的刚性固定物体上，当真空室工作时，真空室壁变形产生的位移经过缓冲密封装置的缓冲作用设备仍然保持真空密封状态，而安装在刚性安装座上的精密运行机构安装座不会受真空室壁上的位移影响。本实用新型解决了安装在真空室内的精密机构受真空室壁变形影响而发生位移的问题并保证了真空室的真空密封。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室壁 刚性安装 真空室 变形 缓冲密封装置 精密机构 刚性连接装置 本实用新型 柔性密封 运行机构 安装座 精密 室内 真空密封状态 真空室壁面 刚性固定 缓冲作用 精度影响 外圆表面 真空密封 上通孔 室外 穿过 保证 | ||
【主权项】：
1.一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置，其特征在于，包括真空室壁（1）、缓冲密封装置（2）、刚性安装座（3），所述缓冲密封装置（2）套装在所述刚性安装座（3）外圆表面上，所述刚性安装座（3）一端穿过所述真空室壁（1）上通孔与精密运行机构安装座（4）连接，另一端固定安装在真空室外的刚性固定物体上，当真空室工作时，真空室壁（1）变形产生的位移经过缓冲密封装置（2）的缓冲作用设备仍然保持真空密封状态，而安装在刚性安装座上的精密运行机构安装座（4）不会受真空室壁（1）上的位移影响。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于桂林实创真空数控设备有限公司，未经桂林实创真空数控设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821637092.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种紫外灯用便于安装的密封圈结构
- 下一篇：用于工业过程的现场装置组件
