[实用新型]一种石墨舟清洗机酸液收集结构

摘要

本实用新型公开了一种石墨舟清洗机酸液收集结构，包括清洗机主体，所述清洗机主体内部分别设置有酸洗室、水洗室和风干室，且酸洗室内部设置有酸洗箱，所述酸洗箱内部等距离开设有第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽，且第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽高度呈阶梯型下降分布，所述第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽之间通过酸液管相互连通，且酸液管外侧壁连接有阀门，所述酸洗室、水洗室和风干室两侧设置有观察窗，且观察窗表面连接有把手。该石墨舟清洗机酸液收集结构采用阶梯型结构的第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽，将石墨舟分为三个等级分别清洗，一方面提高氢氟酸药液利用率，另一方面提高了石墨舟沉积物清洗效果。

主权项

1.一种石墨舟清洗机酸液收集结构，其特征在于：包括清洗机主体(1)，所述清洗机主体(1)内部分别设置有酸洗室(2)、水洗室(3)和风干室(4)，且酸洗室(2)内部设置有酸洗箱(7)，所述酸洗箱(7)内部等距离开设有第一酸洗槽(8)、第二酸洗槽(9)和第三酸洗槽(10)，且第一酸洗槽(8)、第二酸洗槽(9)和第三酸洗槽(10)高度呈阶梯型下降分布，所述第一酸洗槽(8)、第二酸洗槽(9)和第三酸洗槽(10)之间通过酸液管(11)相互连通，且酸液管(11)外侧壁连接有阀门(12)。