[实用新型]一种石墨舟清洗机酸液收集结构

说明书

本实用新型公开了一种石墨舟清洗机酸液收集结构，包括清洗机主体，所述清洗机主体内部分别设置有酸洗室、水洗室和风干室，且酸洗室内部设置有酸洗箱，所述酸洗箱内部等距离开设有第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽，且第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽高度呈阶梯型下降分布，所述第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽之间通过酸液管相互连通，且酸液管外侧壁连接有阀门，所述酸洗室、水洗室和风干室两侧设置有观察窗，且观察窗表面连接有把手。该石墨舟清洗机酸液收集结构采用阶梯型结构的第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽，将石墨舟分为三个等级分别清洗，一方面提高氢氟酸药液利用率，另一方面提高了石墨舟沉积物清洗效果。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟清洗设备技术领域，具体为一种石墨舟清洗机酸液收集结构。

背景技术

在光伏电池生产中PECVD设备的产品承载装置石墨舟，在长期使用中表面会附着0.8-1mm的沉积物，如果继续使用的话，会影响后期的产品质量,沉积物会与氢氟酸发生剧烈反应，因此可通过氢氟酸对石墨舟表面的沉积物进行去除。

现有的石墨舟清洗设备只有一个酸槽可供使用，当需要对酸洗后的石墨舟取出时，必须将氢氟酸排放，这样做势必会对氢氟酸药液造成一定的浪费，氢氟酸药液无法充分利用，从而增加石墨舟清洗成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟清洗机酸液收集结构，以解决上述背景技术中提出的石墨舟酸洗槽单一无法充分利用氢氟酸药液的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种石墨舟清洗机酸液收集结构，包括清洗机主体，所述清洗机主体内部分别设置有酸洗室、水洗室和风干室，且酸洗室内部设置有酸洗箱，所述酸洗箱内部等距离开设有第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽，且第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽高度呈阶梯型下降分布，所述第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽之间通过酸液管相互连通，且酸液管外侧壁连接有阀门。

优选的，所述酸洗室、水洗室和风干室两侧设置有观察窗，且观察窗表面连接有把手，并且观察窗为透明亚克力材质。

优选的，所述水洗室内部设置有水洗架，且水洗架上连接有喷淋头，所述喷淋头下方设置有石墨舟，且石墨舟底部侧壁连接有支撑网，并且支撑网下方连接有污水管。

优选的，所述风干室内部设置有风干架，且风干架上连接有风机，所述风机下方设置有石墨舟，且石墨舟底部侧壁连接有支撑网。

优选的，所述酸洗箱底部侧壁连接有废液回收箱，且第三酸洗槽底部侧壁通过酸液管与废液回收箱相互连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该石墨舟清洗机酸液收集结构采用阶梯型结构的第一酸洗槽、第二酸洗槽和第三酸洗槽，将石墨舟分为三个等级分别清洗，一方面提高氢氟酸药液利用率，另一方面提高了石墨舟沉积物清洗效果。

附图说明

图1为本实用新型一种石墨舟清洗机酸液收集结构结构示意图；

图2为本实用新型一种石墨舟清洗机酸液收集结构酸洗箱结构示意图；

图3为本实用新型一种石墨舟清洗机酸液收集结构酸洗箱侧视图；

图4为本实用新型一种石墨舟清洗机酸液收集结构水洗室结构示意图；

图5为本实用新型一种石墨舟清洗机酸液收集结构风干室结构示意图；

图6为本实用新型一种石墨舟清洗机酸液收集结构图3中A处放大结构示意图。

图中：1、清洗机主体，2、酸洗室，3、水洗室，4、风干室，5、观察窗，6、把手，7、酸洗箱，8、第一酸洗槽，9、第二酸洗槽，10、第三酸洗槽，11、酸液管，12、阀门，13、废液回收箱，14、水洗架，15、喷淋头，16、支撑网，17、石墨舟，18、污水管，19、风干架，20、风机。