[实用新型]一种用于定盘平坦度的测试装置有效
| 申请号： | 201821611735.8 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN208872267U | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王鸣;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 杭州中芯晶圆半导体股份有限公司;上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于定盘平坦度的测试装置，包括一底座，底座上方连接一可伸缩的支架，支架与丝杆连接，丝杆上设有导轨，丝杆的一端设有激光位移传感器，激光位移传感器沿导轨横向移动，丝杆上还设有用于驱动激光位移传感器移动的丝杆伺服机构；丝杆的另一端设有一控制装置，控制装置的信号接收端连接激光位移传感器的信号输出端，控制装置的信号输出端连接智能终端；激光位移传感器的下方设有旋转的定盘。 | ||
| 搜索关键词： | 激光位移传感器 丝杆 控制装置 定盘 信号输出端 测试装置 平坦度 支架 底座 本实用新型 信号接收端 导轨横向 可伸缩的 丝杆连接 伺服机构 智能终端 移动 导轨 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种用于定盘平坦度的测试装置，其特征在于，包括一底座，所述底座上方连接一可伸缩的支架，所述支架与丝杆连接，所述丝杆上设有导轨，所述丝杆的一端设有激光位移传感器，所述激光位移传感器沿所述导轨横向移动，所述丝杆上还设有用于驱动激光位移传感器移动的丝杆伺服机构；所述丝杆的另一端设有一控制装置，所述控制装置的信号接收端连接所述激光位移传感器的信号输出端，所述控制装置的信号输出端连接智能终端；所述激光位移传感器的下方设有旋转的定盘。
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