[实用新型]一种基片固定装置

摘要

本实用新型提供了一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定载板与压紧装置的锁紧装置，载板的一面上设有用于容纳基片的安装凹槽，压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，顶板的一面上设置有与安装凹槽大小相对应的凸台，弹性件设置在凸台与压片之间；压紧装置通过压片将基片压紧在安装凹槽内；安装凹槽处设有与凸台的顶面相挡接的限位台阶面。本实用新型的基片固定装置，其顶板与压片之间设置有弹性件，使得载板上的基片受到的压力能够得到较好地缓冲，降低碎片率；同时通过安装凹槽处的限位台阶面与顶板上的凸台的顶面相挡接，能够对顶板进行较好地限位，有效地避免了顶板继续下压，大大地降低了因基片被过度压紧而造成的碎片率。

主权项

1.一种基片固定装置，其包括载板、基片、压紧装置以及用于固定所述载板与所述压紧装置的锁紧装置，所述载板的一面上设置有用于容纳所述基片的安装凹槽，其特征在于，所述压紧装置包括顶板、压片以及弹性件，所述顶板的一面上设置有与所述安装凹槽大小相对应的凸台，所述弹性件设置在所述凸台与所述压片之间；所述压紧装置通过所述压片将所述基片压紧在所述安装凹槽内；所述安装凹槽处设置有与所述凸台的顶面相挡接的限位台阶面。