[实用新型]一种半导体器件气密检测定位装置有效
| 申请号： | 201821588971.2 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN208984287U | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 牛建新;陆圆圆 | 申请（专利权）人： | 托伦斯半导体设备启东有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/00 | 分类号： | G01M3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体器件气密检测定位装置，包括主体板，主体板的边沿包裹有矩形边框，主体板具备沿水平左右划分的第一分区、第二分区；定位销，三个定位销位于矩形边框上并重合于同一条水平线上，其中第一分区具备两个定位销；夹紧装置，包括矩形边框上的夹钳和位于被检测件上的凸扣，第一分区具备一个第一夹钳，第二分区具备一个第二夹钳；被检测件与主体板贴合，被检测件上具备与定位销装配的孔洞，夹钳与凸扣卡接固定，被检测件包括与主体板等大的第一被检测件和与第一分区等大的第二被检测件。采用此实用新型无论哪种尺寸被检测件都可定位到主体板上，定位、夹紧便捷，方便进行气密检测试验，定位销、夹紧装置利用率高，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 被检测件 主体板 定位销 分区 夹钳 矩形边框 气密检测 半导体器件 定位装置 夹紧装置 等大 凸扣 孔洞 本实用新型 卡接固定 条水平线 可定位 夹紧 贴合 装配 试验 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件气密检测定位装置，其特征在于，包括：主体板，所述主体板的边沿包裹有矩形边框，所述主体板具备沿水平左右划分的第一分区、第二分区；定位销，三个定位销位于矩形边框上并重合于同一条水平线上，其中第一分区具备两个定位销；夹紧装置，包括矩形边框上的夹钳和位于被检测件上的凸扣，所述第一分区具备一个第一夹钳，所述第二分区具备一个第二夹钳；所述被检测件与主体板贴合，所述被检测件上具备与定位销装配的孔洞，所述夹钳与凸扣卡接固定，所述被检测件包括与主体板等大的第一被检测件和与第一分区等大的第二被检测件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于托伦斯半导体设备启东有限公司，未经托伦斯半导体设备启东有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821588971.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型刚体转动惯量测量仪
- 下一篇：堵漏性能测试试验装置
