[实用新型]小流量自动稳压气源系统

摘要

本实用新型涉及小流量自动稳压气源系统，有效的解决了现有气源输出不稳定，输出流量范围不全面，成本较高的问题；其解决的技术方案是包括气源，所述一端连通有气液分离器，所述气液分离器另一端连通有精密调压阀，所述精密调压阀另一端连通有电磁阀，所述电磁阀另一端分别连通有三个不同流量范围的质量流量控制器，三个所述的质量流量控制器另一端分别连通有不同容积的缓冲罐，三个所述缓冲罐通过另一端均和一个出气口连通；本实用新型针对现有气源输出不稳定，输出流量范围不全面，成本较高的问题做出改进，并能够适用于微小流量测量，可以根据上位机指令自动实现检定流量点的设置，实现自动检定，提升检定效率。

主权项

1.小流量自动稳压气源系统，其特征在于，包括气源（1），所述一端连通有气液分离器（2），所述气液分离器（2）另一端连通有精密调压阀（3），所述精密调压阀（3）另一端连通有电磁阀（4），所述电磁阀（4）另一端分别连通有三个不同流量范围的质量流量控制器（5），三个所述的质量流量控制器（5）另一端分别连通有不同容积的缓冲罐（6），三个所述缓冲罐（6）通过另一端均和一个出气口（7）连通。