[实用新型]一种可拆装基板载体有效
| 申请号： | 201821563854.0 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN208883984U | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 马淑莹;余海春 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是一种可拆装基板载体，其特征在于：所述基板载体包括底板及可拆装式安装在所述底板上的治具；所述治具用于装载所述产品，所述底板用于固定在所述基板架上。本实用新型的优点是：治具更换方便，增大了设备的产能，能给不同的产品镀膜，且镀膜均匀性更好，减少物料成本，节省底板的改造操作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 底板 基板载体 治具 本实用新型 可拆装 可拆装式安装 镀膜均匀性 物料成本 真空镀膜 基板架 产能 镀膜 装载 改造 | ||
【主权项】：
1.一种可拆装基板载体，固定在基板架上用于装载产品，其特征在于：所述基板载体包括底板及可拆装式安装在所述底板上的治具；所述治具用于装载所述产品，所述底板用于固定在所述基板架上。
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