[实用新型]一种可拆装基板载体

说明书

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是一种可拆装基板载体，其特征在于：所述基板载体包括底板及可拆装式安装在所述底板上的治具；所述治具用于装载所述产品，所述底板用于固定在所述基板架上。本实用新型的优点是：治具更换方便，增大了设备的产能，能给不同的产品镀膜，且镀膜均匀性更好，减少物料成本，节省底板的改造操作成本。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是一种可拆装基板载体。

背景技术

在溅射镀膜工艺中，基板、基片等镀膜工件需要置于一载体上，而载体则通过连接件固定架设到基板架上。随着基板架的转动，溅射源对承载在载体上的镀膜工件进行溅射镀膜。

常见的载体都是一体式的，随着真空镀膜产品的形状越来越多样化，有时候生产商更换一种产品，就需要更换整个设备的装载结构，增加了改造成本。

发明内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种可拆装基板载体，通过将基板载体分为底板和可拆式安装在底板上的治具，从而可以增大设备产能，减少改造操作成本。

本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

一种可拆装基板载体，固定在基板架上用于装载产品，其特征在于：所述基板载体包括底板及可拆装式安装在所述底板上的治具；所述治具用于装载所述产品，所述底板用于固定在所述基板架上。

所述底板上开设有若干安装孔，所述若干安装孔满足于安装不同所述治具的需要。

所述底板上开设有若干能将所述底板固定在所述基板架上的通孔。

所述治具的一面与所述产品的形状相适配，所述治具的另一面与所述底板的形状相适配。

本实用新型的优点是：治具更换方便，增大了设备的产能，能给不同的产品镀膜，且镀膜均匀性更好，减少物料成本，节省底板的改造操作成本。

附图说明

图1为本实用新型用于菲林膜片时的结构示意图；

图2为图1的爆炸图；

图3为本实用新型用于玻璃基板时的结构示意图；

图4为图3的爆炸图。

具体实施方式

以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：

如图1-4所示，图中标记1-8分别表示为：底板1、治具2、治具3、菲林膜片4、玻璃基板5、通孔6、安装孔7、安装孔8。

实施例一：本实施例中的一种可拆装基板载体，主要用于溅射镀膜工艺中。

如图1、2所示，可拆装基板载体包括底板1，安装固定在底板1上的治具2。

其中底板1固定安装在基板架上，支承治具2。治具2安装固定在底板1上用来装载作为产品的菲林膜片4。

在底板1的上下端各留设两个通孔6，将底板1固定在基板架上。治具2用来装载菲林膜片4的侧面呈曲面，该曲面与菲林膜片4的曲面相吻合适配，在对菲林膜片4进行镀膜时，提高了镀膜的均匀性。治具2与底板1的接触面呈平面，该平面与底板1的平面相匹配，增加了治具2与底板1的贴合性。底板1上留设有若干安装孔7，治具2上对应设有若干安装孔8，将治具2中的安装孔8与底板1上的安装孔7一一对应后，采用螺栓锚固，将治具2可拆卸式的固定安装在底板1上，后期为不同尺寸和形状的产品镀膜时，无需再将整个基板载体拆除，只需将治具2从底板1上拆除更换即可，从而减少更换底板1的物料成本，节省底板1的改造操作成本，提高设备的产能。