[实用新型]一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统有效
| 申请号： | 201821561144.4 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN208917317U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 彭小磊;赵青松;宁红峰;南建辉 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C25B1/00 | 分类号： | C25B1/00;C25B9/00;C25B15/02 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 齐胜杰 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统，包括：所述系统包括：箱体、微负压保持装置和气体处理装置，所述箱体为全密闭结构，所述箱体中设有电解装置；气体处理装置位于箱体外部，且与箱体中的电解装置管路连接；微负压保持装置位于箱体外部，包括至少一个负压风机，所述微负压保持装置一端通过管路与箱体连接，另一端通过管路与气体处理装置连接。上述系统可以制备高纯度的砷烷气体，且安全性高，实现污染物的零排放。 | ||
| 搜索关键词： | 气体处理装置 保持装置 微负压 砷烷 安全控制 电解装置 气体制备 箱体外部 运行系统 本实用新型 全密闭结构 负压风机 管路连接 箱体连接 高纯度 零排放 制备 污染物 | ||
【主权项】：
1.一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统，其特征在于，所述系统包括：箱体、微负压保持装置和气体处理装置，所述箱体为全密闭结构，所述箱体中设有电解装置；所述气体处理装置位于所述箱体外部，且与所述箱体中的电解装置管路连接；所述微负压保持装置位于所述箱体外部，包括至少一个负压风机，所述微负压保持装置一端通过管路与箱体连接，另一端通过管路与气体处理装置连接。
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