[实用新型]一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统

权利要求书

1.一种砷烷气体制备设备的安全控制运行系统，其特征在于，所述系统包括：箱体、微负压保持装置和气体处理装置，

所述箱体为全密闭结构，所述箱体中设有电解装置；

所述气体处理装置位于所述箱体外部，且与所述箱体中的电解装置管路连接；

所述微负压保持装置位于所述箱体外部，包括至少一个负压风机，所述微负压保持装置一端通过管路与箱体连接，另一端通过管路与气体处理装置连接。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

设置在所述箱体内的气体冷凝装置，所述气体冷凝装置通过管路连接在电解装置和气体处理装置之间。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

液体回收系统，所述液体回收系统通过管路连接在电解装置和气体冷凝装置之间。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

砷烷气体采样装置，所述砷烷气体采样装置通过管路连接在气体冷凝装置和气体处理装置之间。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

砷烷气体检测装置，所述砷烷气体检测装置通过管路连接在气体冷凝装置和气体处理装置之间。

6.根据权利要求1至5任一所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

所述箱体内下部设置的砷烷气体检测仪，用于检测在箱体中是否存在砷烷气体泄露；

和/或，所述箱体内上部设置的氢气检测仪，用于检测箱体中是否存在氢气泄漏。

7.根据权利要求1至5任一所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

保护气体供给装置，所述保护气体供给装置通过管路与电解装置连接。

8.根据权利要求1至5任一所述的系统，其特征在于，所述微负压保持装置还包括吸附罐，所述吸附罐通过管路连接所述负压风机。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述系统还包括补气装置，所述补气装置一端连接箱体、另一端连接吸附罐或负压风机。

10.根据权利要求1至5任一所述的系统，其特征在于，

所述气体处理装置至少为一个吸附装置。