[实用新型]光刻机的送料装置有效
| 申请号： | 201821555008.4 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208964013U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 许乃聪;蔡景鸿;邱望洪 | 申请（专利权）人： | 深圳市致行科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/52 | 分类号： | B65G47/52;B65G15/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机技术领域，针对操作麻烦的问题，提供了一种光刻机的送料装置，该技术方案如下：包括设于保护柜内的储料组件、传输组件以及收集组件，储料组件包括竖直设置的第一传送带，第一传送带上均匀凸出有若干第一支撑条，第一传送带上设有驱动第一传送带的第一电机，传输组件包括水平设置的第三传送带，第三传送带置于第一传送带的下方，第三传送带上设有驱动第三传送带的第三电机，收集组件包括收集箱，收集箱一端开口，收集箱的开口正对第三传送带靠近光刻机的一端。通过在第一传送带以及收集箱的设置，使得进料与取料均可批量操作，无需每进行一次光刻操作，就打开一次柜门进行进料和取料的操作，操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 传送带 光刻机 收集箱 储料组件 传输组件 收集组件 送料装置 取料 电机 本实用新型 驱动 凸出 批量操作 竖直设置 水平设置 一次光刻 一端开口 保护柜 支撑条 柜门 正对 开口 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机的送料装置，其特征是：包括设于保护柜(2)内的储料组件(3)、传输组件(4)以及收集组件(5)，所述储料组件(3)包括竖直设置的第一传送带(31)，所述第一传送带(31)上均匀凸出有若干第一支撑条(311)，所述第一传送带(31)上设有驱动第一传送带(31)的第一电机(33)，所述传输组件(4)包括水平设置的第三传送带(41)，所述第三传送带(41)置于第一传送带(31)的下方，所述第三传送带(41)上设有驱动第三传送带(41)的第三电机(42)，所述收集组件(5)包括收集箱(51)，所述收集箱(51)一端开口，所述收集箱(51)的开口正对第三传送带(41)靠近光刻机(61)一端的端部。
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