[实用新型]平推式插板阀及连续真空镀膜装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种平推式插板阀及连续真空镀膜装置。平推式插板阀包括阀体、密封板组件、导向组件和驱动装置，阀体上设有第一通孔和第二通孔，通过密封板组件对第一通孔和第二通孔进行密封封堵，实现平推式插板阀的密封；密封板组件包括支撑板和密封板，支撑板用于密封封堵第一通孔，密封板用于密封封堵第二通孔；通过驱动装置驱动密封板组件沿导向组件的延伸方向往复运动，实现第一通孔和第二通孔的密封封堵或开启，实现对阀门的开启和关闭的自动控制，且保证了阀门具有良好的密封性能。

主权项

1.一种平推式插板阀，其特征在于，包括阀体、密封板组件、导向组件和驱动装置；所述密封板组件、所述导向组件均位于所述阀体内；所述阀体的第一方向上的第一侧壁上设有第一通孔，所述阀体的第一方向上的第二侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；所述密封板组件包括支撑板和密封板，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，所述支撑板与所述密封板通过伞形连接件相连接；所述导向组件包括沿第二方向设置的导杆和导轮，所述导杆位于所述密封板组件上方，所述密封板组件与所述导轮相连接，所述导轮位于所述导杆上，并能沿着所述导杆的延伸方向滑动；所述第二方向垂直于所述第一方向；所述驱动装置能够驱动所述密封板组件沿所述导杆方向移动。