[实用新型]一种半导体晶圆倒角工装有效
| 申请号： | 201821552476.6 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208977491U | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 杨光宇 | 申请（专利权）人： | 锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体晶圆倒角工装，包括固定装置和定位装置，所述定位装置由定位板、第一电动推杆、底板和定位件组成，所述第一电动推杆两端分别与定位板底部和底板顶部固定，所述第一电动推杆设有两个，且两个第一电动推杆对称分布在底板两侧，所述定位板内等角度开有四个定位槽，所述定位件设有四个，且四个定位件分别与定位槽内壁固定，所述固定装置由固定组件、固定板、支撑杆、支撑板和电机组成，本实用新型通过定位件对晶圆进行定位，防止位置偏差，再通过真空吸盘对晶圆底部吸附固定，比传统的刚性结构对晶圆进行固定更加稳定安全，减少了部件之间的震动导致晶圆震碎，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电动推杆 定位件 晶圆 定位板 底板 半导体晶圆 本实用新型 倒角工装 定位装置 固定装置 定位槽内壁 底板顶部 电机组成 对称分布 刚性结构 工作效率 固定组件 位置偏差 稳定安全 吸附固定 真空吸盘 传统的 定位槽 固定板 支撑板 支撑杆 震动 | ||
【主权项】：
1.一种半导体晶圆倒角工装，包括固定装置(1)和定位装置(2)，其特征在于：所述定位装置(2)由定位板(3)、第一电动推杆(4)、底板(5)和定位件(6)组成，所述第一电动推杆(4)两端分别与定位板(3)底部和底板(5)顶部固定，所述第一电动推杆(4)设有两个，且两个第一电动推杆(4)对称分布在底板(5)两侧，所述定位板(3)内等角度开有四个定位槽(7)，所述定位件(6)设有四个，且四个定位件(6)分别与定位槽(7)内壁固定，所述固定装置(1)由固定组件(8)、固定板(9)、支撑杆(10)、支撑板(11)和电机(12)组成，所述电机(12)固定在底板(5)顶部，且电机(12)输出端通过联轴器与支撑板(11)顶部固定，所述支撑板(11)通过支撑杆(10)与固定板(9)固定，且固定组件(8)固定在支撑板(11)顶部，所述固定板(9)顶部放置有晶圆(21)，且晶圆(21)外侧与四个定位件(6)一端接触。
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