[实用新型]一种间距检测装置有效
| 申请号： | 201821551696.7 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208805144U | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张峰;严攀;金锟 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/14 | 分类号： | G01B5/14 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种间距检测装置，应用于磁控物理气相沉积装置，磁控物理气相沉积装置包括用于产生磁场的一磁铁和用于装载靶材的一承载板；其中，间距检测装置包括量测主体、滑块、测量表和支架，量测主体套设于滑块内与滑块滑动连接，测量表固定设置在支架上，支架与滑块固定连接使得测量表的延伸方向与量测主体的所在平面垂直；其中，测量表为百分表；与现有技术相比，本实用新型通过改进间距检测装置的结构简化了测量的操作步骤，具有较大的测量范围，较小的测量误差，且具备较强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 间距检测装置 测量表 滑块 量测主体 支架 物理气相沉积装置 本实用新型 测量 磁控 固定设置 滑动连接 结构简化 所在平面 百分表 承载板 磁铁 靶材 磁场 装载 垂直 延伸 应用 改进 | ||
【主权项】：
1.一种间距检测装置，应用于磁控物理气相沉积装置，所述磁控物理气相沉积装置包括用于产生磁场的一磁力源和用于装载靶材的一承载板；其特征在于，所述间距检测装置包括量测主体、滑块、测量表和支架，所述量测主体套设于所述滑块内与所述滑块滑动连接，所述测量表固定设置在所述支架上，所述支架与所述滑块固定连接使得所述测量表的延伸方向与所述量测主体的所在平面垂直。
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