[实用新型]弹性波装置有效
申请号: | 201821547802.4 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN208836090U | 公开(公告)日: | 2019-05-07 |
发明(设计)人: | 佐治真理 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/15 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种弹性波装置包括:压电基板,主要包含铌酸锂;叉指换能器电极,设置在压电基板上;以及电介质膜,设置在压电基板上,以便覆盖叉指换能器电极,主要包含氧化硅。弹性波装置使用瑞利波。叉指换能器电极包括多个主电极层(electrolyte)。多个主电极层包括一个或多个第一主电极层,所述一个或多个第一主电极层由针对弹性常数C11以及弹性常数C12而言C112/C12比大于氧化硅的C112/C12比的金属制成。在将所述叉指换能器电极整体的厚度是约100%时,所述一个或多个第一主电极层的厚度的总和是约55%或更多。 | ||
搜索关键词: | 主电极层 叉指换能器电极 弹性波装置 压电基板 弹性常数 氧化硅 电介质膜 金属制成 瑞利波 铌酸锂 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种弹性波装置,包括:压电基板,主要包括铌酸锂;叉指换能器电极,设置在所述压电基板上;和电介质膜,设置在所述压电基板上以覆盖所述叉指换能器电极并且主要包括氧化硅,所述弹性波装置利用瑞利波,其特征在于:所述叉指换能器电极具有多个主电极层,所述多个主电极层包括一个或多个第一主电极层,其中所述一个或多个第一主电极层由对于弹性常数C11以及弹性常数C12而言C112/C12比大于氧化硅的C112/C12比的金属构成,并且在将所述叉指换能器电极整体的厚度约为100%时,所述一个或多个第一主电极层的厚度的总和约为55%或更多。
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