[实用新型]一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台有效
| 申请号： | 201821524246.9 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN210136184U | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 崔长彩;李子清;薛步刚;黄国钦;黄辉 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;张迪 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，定位装置包括针对不同大小衬底的圆环托盘，圆环托盘上带有刻度，实现对不同规格的圆形衬底的定位；圆柱形连接支架用于连接衬底定位装置和背光照明装置，实现对光源的密封；背光照明装置，提供多种形式的光源，同时保证均匀照明；圆环形转接板，实现照明装置和旋转台的固定；旋转台可带动背光照明装置以及衬底定位装置实现回转运动；具有可拆卸功能的底座，用于固定衬底定位装置以及与检测平台的连接。本实用新型与现有的装置相比，不仅可实现对多种规格的衬底晶片精确定位和回转运动用于全场扫描测试，又可以提供多种均匀照明的背光光源，满足不同缺陷检测时的照明需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背光 照明 衬底 缺陷 检测 回转 工作台 | ||
【主权项】：
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